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第6章 数控机床测量反馈系统 数控机床测量反馈系统 概述 旋转变压器 感应同步器 光栅测量装置 脉冲编码器 6.1 概述 一、数控机床检测装置的分类 （1）直接测量和间接测量 若位置检测装置测量的对象就是被测量本身，即直线式测量直线位移，旋转式测量角位移，该测量方式称为直接测量。直接测量组成位置闭环伺服系统，其测量精度由测量元件和安装精度决定，不受传动精度的直接影响，但检测装置要和行程等长，这对大型机床是一个限制。 若位置检测装置测量出的数值通过转换才能得到被测量，如用旋转式检测装置测量工作台的直线位移，要通过角位移与直线位移之间的线性转换求出工作台的直线位移。这种测量方式称为间接测量。间接测量组成位置半闭环伺服系统，其测量精度取决于测量元件和机床传动链二者的精度。因此，为了提高定位精度，常常需要对机床的传动误差进行补偿。间接测量的优点是测量方便可靠，且无长度限制。 数控机床检测装置的分类 （2）增量式测量和绝对式测量 增量式测量装置只测量位移增量，即工作台每移动一个基本长度单位，检测装置便发出一个检测信号，此信号通常是脉冲形式。增量式检测装置均有零点标志，作为基准起点。数控机床采用增量式检测装置时，在每次接通电源后要回参考点操作，以保证测量位置的正确，大多数数控机床采用这种测量方式。 绝对式测量是指被测的任一点位置都从一个固定的零点算起，每一个测点都有一个对应的编码，常以二进制数据形式表示。 数控机床检测装置的分类 （3）数字式测量和模拟式测量 数字式测量是以量化后的数字形式表示被测量。得到的测量信号为脉冲形式，以计数后得到的脉冲个数表示位移量。其特点是便于显示、处理；测量精度取决于测量单位，与量程基本无关；抗干扰能力强。 模拟式测量是将被测量用连续的变量来表示，模拟式测量的信号处理电路较复杂，易受干扰，数控机床中常用于小量程测量。 二、 数控机床对检测装置的要求 （1）满足数控机床的精度和速度要求 （2）工作可靠 （3）便于安装和维护 三、数控检测装置的性能指标与要求 （1）精度 符合输出量与输入量之间特定函数关系的准确程度称作精度，数控用传感器要满足高精度和高速实时测量的要求。 （2）分辨率 分辨率应适应机床精度和伺服系统的要求。分辨率的提高，对提高系统性能指标、提高运行平稳性都很重要。高分辨率传感器已能满足亚微米和角秒级精度设备的要求。 （3）灵敏度 实时测量装置不但要灵敏度高，而且输出、输入关系中各点的灵敏度应该是一致的。 数控检测装置的性能指标与要求 （4）迟滞 对某一输入量，传感器的正行程的输出量与反行程的输出量的不一致，称为迟滞。数控伺服系统的传感器要求迟滞小。 （5）测量范围和量程 传感器的测量范围要满足系统的要求，并留有余地。 （6）零漂与温漂 传感器的漂移量是其重要性能标志，它反映了随时间和温度的变化，传感器测量精度的微小变化。 6.2 旋转变压器 一、旋转变压器的组成及工作原理 旋转变压器 二、相位工作方式 相位工作方式 转子绕组上感应电动势为： 旋转变压器 三、幅值工作方式 幅值工作方式 转子绕组上感应电动势为： 6.3 感应同步器 一、感应同步器的组成及工作原理 感应同步器的组成及工作原理 感应同步器的组成及工作原理 （1）相位工作方式 感应同步器的组成及工作原理 （2）幅值工作方式 感应同步器 二、感应同步器测量系统 （1）鉴相测量系统 感应同步器鉴相测量系统包括脉冲一一相位变换器、励磁供电线路、测量信号放大器和鉴相器等。其原理框图如图6.6所示。 鉴相测量系统 其中，脉冲—位变换器的作用是将输入指令脉冲转换成相位值，其原理框图如图6.7所示。 鉴相测量系统 脉冲加减法器是脉冲—相位变换器的关键部分，它完成向基准脉冲中加入或抵消脉冲的作用。 鉴相测量系统 图6.8中，基准通道分频器I输出的参考信号作为相位基准供给励磁供电线路，再由励磁供电线路分解成两个相位相差90°的方波，经滤波放大得到正弦及余弦励磁电压供给滑尺的两个绕组，如图6.9所示。 鉴相测量系统 鉴相器的作用是鉴别指令信号与反馈信号相位，并判断相位差的大小和方向。这里介绍一种使用异或门和D触发器组成的鉴相器，如图6.10所示。 鉴相测量系统 感应同步器测量系统 （2）鉴幅测量系统 6.4 光栅测量装置 一、光栅测量的工作原理 光栅装置的结构是由标尺光栅和指示光栅组成的，在标尺光栅和指示光栅上都有密度相同的许多刻线，称为光栅条纹，光栅条纹的密度一般为每毫米25、50、100、250条。对于透射光栅，这些刻线不透光（对于反射光栅，这些刻线不反光）。光线由两刻线之间窄面透射（或反射回来），见图6.12。 光栅测量的工作原理 把指示光栅平行放在标尺光栅侧面，并使它们的刻线相对倾斜一个很小角度，光源放在标尺光栅