一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪.pdfVIP

2010年第 44卷Nol 81 一 种新型垂直扫描 白光显微干涉测量仪 王生怀 一，陈育荣 ，谢铁邦 湖北汽车工业学院；华中科技大学 摘要：研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪。摹于 knnik显微干涉结构 ，设计了干涉测量仪的 显微干涉系统，介绍了干涉系统的工作原理；设计了 Z向一维位移工作台，介绍了其结构和驱动原理 ；分析了测量 仪的工作原理 ，并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证。 关键词：垂直扫描；白光干涉；显微干涉系统；一维位移工作台 中图分类号：TG84 文献标志码 ：A A NovelVerticalScanning teLightM icroscopyInterferenceInstrument WangShenghuai，ChenYurong，XieTiebang Abstract：Anovelverticalscanningwhitelightmicroscopyinterferenceinstrumenthasbeendeveloped．Themicroscopyin— terferencesystem ofthisinstrumentisdesignedbasedonthestructureofLinnikinterferencemicroscopy，andtheworkingprinciple isintroduced．Th e1D worktableofZ directionisdesigned；thestructureanddrivingprincipleareintroduced．Th eworkprinciple oftheinterferenceinsmnnentisanalyzedandhtemeasurementprevisionisverifiedbymeasuringstandardsamples． Keywords：vertical scanning；whitelightinterference；microscopyinterferencesystem；1Ddisplacementworktable 干涉技术进行测量时，干涉条纹是测量信息的载体， 1 引言 通过对干涉条纹进行分析，可得到包含在条纹中的 在微机 电系统检测技术方面，表面形貌的检测 与被测表面相关的信息。随着 CCD成像技术和数 已成为研究微机 电系统的一个重要 内容，包括微机 字图像处理技术的快速发展，已能对干涉条纹进行 电结构的三维尺寸、轮廓、膜厚、表面粗糙度等。白 自动分析，大大加快了条纹的分析速度，提高了测量 光显微干涉法是一种十分重要的微纳结构表面形貌 精度。 测量方法，与其它表面形貌测量方法相比，显微干涉 白光干涉术又称为低相干干涉技术。在白光干 法具有非接触且可进行三维测量的优点，因而在微 涉中，光源光谱中的各色光均可参加干涉，并将各色 电子、微机电系统以及微光机 电系统的结构表面形 的干涉强度分布叠加到最后形成的干涉图像中，白 貌测量上应用广泛l1-4J。 光干涉 的基本原理如图 1所示 。 目前，国外已经开发出成熟的产品，但是价格相 当昂贵，难 以在国内推广使用。国内对显微干涉法 的研究也比较多，但主要集中在测量算法等软件方 面 5，系统硬件主要是通过直接购买显微干涉镜 头lj或者显微干涉镜lJ搭建 的测量平 台。 参考镜 本文基于垂直扫描 白光显微干涉原理，研究开 发了一种新型垂直扫描 白光显微干涉测量仪，测量 过程中以自行研制的干涉仪作为一个整体进行移