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椭圆偏振法测量薄膜的厚度和 椭圆偏振法测量薄膜的厚度和 折射率 折射率 姚焜 姚焜 06.7.5 06.7.5 大学物理实验讲座 大学物理实验讲座 内容简介 内容简介 • 1. 椭偏法测量薄膜的技术特点 • 2. 椭偏法的基本概念 • 3. 椭偏仪的基本结构和原理 • 4. 椭偏仪实验的操作方法 • 5. 椭偏仪实验的数据处理 • 6. 总结 大学物理