GB/T 26111-2010微机电系统(MEMS)技术　术语.pdf

ICS31．200 L55 园亘 中华人民共和国国家标准 GB／T26111—2010 术语 微机电系统(MEMS)技术 Micro—electromechanical systemtechnology——Terms 201卜01—10发布 宰瞀髅紫瓣警矬瞥鐾发布中国国家标准化管理委员会“1” 标准分享网 免费下载 026111—2010 GB／T26111—2010 前 言 本标准按照GB／T1．1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(sAC／Tc336)提出并归口。 本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团第13研究所、清华大学、上海交通 大学、中北大学。 本标准主要起草人：丁红宇、刘伟、张苹、崔波、杨拥军、叶雄英、陈迪、石云波。 Ⅲ 标准分享网 免费下载 MEMsmicromachine3．16620043．1．23．1．33．1．411—2010 GB／T2611 1—2010 3．1．5 radio MEMs 射频MEMs MEMs，RF frequency 与无线通信技术相结合的MEMs。 3．1．6 微光机电系统 micro-optica卜electr蛐icmechanicalsystems，MoEMs 与光学技术相结合的MEMs。 3．2科学与工程术语 3．2．1 effect 尺寸效应 scale 由于物体尺寸的变化而导致各方面的性质和特性发生改变的现象。 3．2．2 表面效应 surfaceeffect 由于物体尺寸变小，表面积与体积比增大，而导致物体表面的性质和特性发生改变的现象。 3．2．3 粘附stictioⅡ 因表面张力或静电力等使微结构附着于基底或其他结构体的现象。 3．2．4 防粘附 antistjction 避免发生粘附现象。 3．2．5 亲水性hydrophilicity 物质对水有较高的亲和能力，即可以吸引水分子，或溶解于水。 注：亲水固体材料的表面，易被水所澜湿。 3．2．6 疏水性hydrophobicity 物质与水相互排斥的现象。 注：对固体，疏水表现为浸润性差；对液体，表现为与水之间不相溶。 3．2．7 静电驱动 electrostaticactuatioⅡ 利用结构问的静电场力进行的驱动。 3．2．8 actuation 电磁驱动 electromagnetic 利用电磁力进行的驱动。 3．2．9 actuation 压电驱动 pi眈oelectric 利用外电场使压电材产生伸缩形变进行的驱动。 3．2．10 电