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激 光 测 试 原 理 与 技 术 杨坤涛 教授 绪 论 测量是科学的眼睛，可以说，没有测量就没有科学，就没有现代工业的发展。测量方法的改进和测量精度的提高，代表当代科学发展的水平。 · 长 度——已测得到nm（10-9m） · 时 间——fs（10-15S） · 光刻对准——0.05μ（10-5mm） · 光 纤——几个μ~10μ 一、激光测量方法 激光的亮度，高相干性和高准直性，使光学检测方法产生革命性的变化，并有可能对过去不能测量对象进行测量。提高了测量精度，已达nm（10-9m）量级，并使测量智能化。 国际上倾向性的看法是：激光测量是一门综合性实用技术，能记录、分析激光与被研究对象相互作用而发生变化的光波场参数，以便测出被研究对象的动力学参数，声学参数，重力场参数，热力学参数，电磁学参数，光学参数和微观信息等。即可用激光检测的方法探测、声、光、热、电磁、力学等物理参数，长度、角度、表面光洁度等几何参数以及化学参数。 （一）按所采用的光学测量原理分 1．干涉法：干涉测长 2．衍射法：测微小尺寸 3．光扫描法：扫描测径，扫描对准 附：傅里叶频谱法： 例：利用下面的4f′系统（双透镜相干系统） （二）激光测试的特点 ①?? 非接触：无接触力，柔性 ②?? 高灵敏度 ③?? 高精度 ④?? 三维性 ⑤?? 相关性，高低温 ⑥?? 实时性 ⑦?? 抗干扰性（电磁干扰） ⑧?? 通信保密性：光通信的定向性，光纤的保密性 二、激光测试方法的应用领域 （一）军事领域 1．跟踪：红外制导导弹 2．激光测距：测距机、激光雷达、激光探潜 3．激光预警 （二）工业领域 1．长度、角度、光洁度 2．声光、热电磁 （三）生物科学 1． OCT，探测组织对激光的吸收 2． 血流（激光Doppler测量） （四）环境科学 1． 测大气污染 2． 地形地貌测量 （五）公安系统 1． 指纹测量 2． 等高莫尔条纹（人体形测量） ? 参考书目 1． 激光原理：清华大学周炳琨，国防工业出版社，1984.11第一版 2． 近代光学测试技术，杨国光，机械工业出版社 3． 激光在精密计量中的应用，天津大学，叶声华，机械工业出版社 4． 激光测量学：金国藩，科学出版社，1998.8 * * 4．准直法：准直仪 5．光脉冲法：激光脉冲测距——精度m 6．光调制法：激光相位测距——精度mm 7．多谱勒法：测流体速度 8．全息法：测变形 9．散斑法：测微位移 10．光谱法：测大气污染，测化学成分 11．数字图像法：（CCD成像）OCT 12．傅里叶频谱法：如下例（指纹检测） 13．莫尔条纹法：莫尔条纹法测量角度、莫尔偏析法测焦透镜焦距等、等高莫尔法测三维物体。 图0-1 1．先将合格的掩膜板放在F1面，并用平行激光束（如氦氖激光）照射，在L1的后焦点上（即F1′面）形成该掩膜的频谱，用化学胶片记录下该频谱的照片（负片）。 2．将负片作为空间滤波器，放在F1′面上。 3．将被测掩膜板放在F1面，并用平行激光照射，如无缺陷，则由于其频谱和标准掩膜板的频谱面一样。所有信息被空间滤波器全部滤掉，在F2′面上（象面）无任何信息；若有缺陷，则该缺陷处的频谱 通过空间滤波器，并在F2′面上成像，则可看到一个亮点。这样可迅速准确的检测掩膜板。 同样用此方法可以检验人的指纹、唇纹等。 *