真空系统组成与设计基础.ppt

课程内容 1.真空系统的组成 2.真空系统组成元件 3.真空系统的设计计算 1.真空系统的组成 1.1真空系统的概念 1.2真空系统的组成元件 1.3真空系统的分类 1.4真空系统设计的基本内容 1.1 真空系统的概念 什么是真空系统？ 用一句话来概括，真空系统就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。 马德堡半球实验 真空电炉：真空电炉是在最近几十年发展起来的，在真空条件（稀薄气体中）工作的。根据加热热源不同，真空电炉可分为： 电阻加热炉 感应加热炉 电弧加热炉 电子束加热炉 真空电子束焊接：定向高速运动的电子束流撞击工件使动能转化为热能而使工件熔化，形成焊缝 离子注入： 真空中一束离子束射向固体材料，把固体材料原子或分子撞出材料表面，叫做溅射； 离子束从固体材料表面弹回来，或穿出固体材料而去，叫做散射； 而当离子束射到固体材料后，受固体材料抵抗速度慢慢减低，并最终停留在固体材料中，叫做离子注入。 离子注入引起材料表面成分、结构和性能变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能 特点：无公害、不改变尺寸和表面光洁度、无剥落、不需再加工和热处理。 真空热处理： 真空热处理是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，即在低于一个大气压的气氛环境中进行热处理，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。 真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。 无氧化、无脱碳、无毒害物质产生；变形小、硬度均匀；脱脂除气，可获得洁净表面。  扫描电子显微镜 扫描近场光学显微镜 多模式扫描探针显微镜 国内第一台千瓦量级的氦制冷系统 模拟舱中的神州飞船 真空度的提高（极高真空10-12Pa）和真空容器大型化（例如宇航的微重力试验的真空系统真空室1700m3），今后新的尖端科学技术的发展对此要有所考虑。 Want of Manufacturing of semiconductor Industry 半导体工业需要清洁的环境 真空集便器与真空除污机 典型高真空系统 1.2 真空系统的组成元件 一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道； 4 ．真空测量装置：例如真空压力表、 各种规管； 5．其它元件：例如捕集器、除尘器、 真空继电器规头、储气罐等。 1—真空室 2－放气阀 3－电离真空计 4－热偶真空计 5－高真空阀6－冷阱 7－扩散泵 8－前级真空阀 9－电磁真空阀 10－机械泵 11－管道阀 1.3真空系统的分类 1.3.1 粗低真空系统 1.3.2 中真空系统 1.3.3 高真空系统 1.3.4 超高真空系统 1.3.1 粗低真空系统 用粗真空泵（如水蒸汽喷射泵或水环泵）直接从大气压下为真空室排气，组成的真空系统即为粗真空系统。该系统是最简单的真空系统。 用低真空泵（如油封式机械泵）给真空室排气，即可组成低真空系统。 应用领域很多： 真空传输：煤矿抽瓦斯、化工、制药、医学、畜牧业等 真空造型 真空吸盘 真空包装 真空系统示意图 一个要进行真空处理的容器,用管道和阀门将它与真空泵连接起来,同时在容器上设置真空测量装置,这就构成了一个最简单的真空抽气系统。 真空集便器与真空除污机 1.3.2 中真空系统 这种系统应用比较普遍，许多应用设备都采用该种系统。如自耗炉真空系统，感应炉真空系统和一些热处理炉的真空系统等。 中真空系统一般是由两个以上的泵串联组成的。 下面介绍几种系统: 只用机械泵给真空室排气，系统比较简单，在低真空范围内，真空度低于1.33×10-1Pa。 油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵) 工作压强范围:1.33～1.33×10-1Pa。 优点:抽气能力大，系统简单，振动小，工作稳定可靠，维修方便，成本低。 缺点:预抽时间长(同罗茨泵系统比较)，工作中需 要较贵重的增压泵油。 下图为采用油增压泵(主泵)串联机械泵(前级泵) 的真空感应熔炼炉的真空系统。 罗茨泵串联机械泵 工作压强范围：1.33～1333Pa。 优点：预抽气时间短。 缺点：工作时有振动,且噪音大;工作中随时间增加,罗茨泵性能下降。 罗茨泵串联小型罗茨泵(中间泵),再串联机械泵 工作压强范围：0.133～1333Pa。 优点：工作压强范围大,工作真空度高