ch2_电阻应变式传感器及其应用.ppt

2.2.1 半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 （半导体材料的压阻效应特别强）。 2.2.2 半导体电阻应变片 1. 结构型式及特点 1. 体型应变片结构型式及特点 2. 测量电路 恒压源 恒流源 三.环式传感器 圆环式传感器弹性元件的结构,如图2.28所示。a)为拉力环,(b)为压力环。环式常用于测几十千克以上的大载荷,与柱式相比,它的特点是应力分布变化大,且有正有负,便于接成差动电桥。 2.3.4 扩散型压阻式压力传感器 扩散型压阻式压力传感器 特点 优点: 体积小，结构比较简单，动态响应也好，灵敏度高，能测出十几帕的微压，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。 测量准确度受到非线性和温度的影响。智能压阻式压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿。 2.3.4 压阻式加速度传感器 它的悬臂梁直接用单晶硅制成，四个扩散电阻扩散在其根部两面 。 2.3.5 测量桥路及温度补偿 由于制造、温度影响等原因，电桥存在失调、零位温漂、灵敏度温度系数和非线性等问题，影响传感器的准确性。 减少与补偿误差措施 1. 恒流源供电电桥 2. 零点温度补偿 3. 灵敏度温度补偿 1. 恒流源供电电桥 2.温度漂移及其补偿 二.膜片式压力传感器 该类传感器的弹性敏感元件为一周边固定的圆形金属平膜片。当膜片一面受压力p作用时,膜片的另一面(应变计粘贴面)上的径向应变εr和切向应变εt为 图2.33 膜片受力时的应变分布和应变计粘贴 式中,R为平膜片工作部分半径，h为平膜片厚度，E为膜片的弹性模量，μ为膜片的泊松系数，x为任意点离圆心的径向距离。 在膜片中心即x=0处,εr和εt均达到正的最大值,即 而在膜片边缘,即x=R处,εt=0,而εr达到负的最大值 (最小值)。 三.组合式压力传感器 组合式压力传感器,如图2.31所示,通常用于测量小压力。波纹膜片、膜盒、波纹管等弹性敏感元件感受压力后,推动推杆使梁变形。电阻应变计粘贴于梁的根部感受应变。 2.3.3、应变式加速度传感器 应变式加速度传感器如图2.32所示。在一悬臂梁1的自由端固定一质量块3。当壳体4与待测物一起作加速运动时,梁在质量块惯性力的作用下发生形变,使粘贴于其上的应变计2阻值变化。检测阻值的变化可求得待测物的加速度。图中,5为电引线,6为运动方向。 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 上一页 返 回 下一页 工作原理： 膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。 四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡， 输出相应的电压，电压与膜片两边的压力差成正比。 四个电阻的配置位置： 按膜片上径向应力σr和切向应力σt的分布情况确定。 设计时，适当安排电阻的位置，可以组成差动电桥。 上一页 返 回 下一页 上一页 返 回 下一页 扩散电阻 质量块 基座 应变梁 a 上一页 返 回 下一页 上一页 返 回 下一页 恒流源供电的全桥差动电路 假设ΔRT为温度引起的电阻变化 电桥的输出为 电桥的输出电压与电阻变化成正比，与恒流源电流成正比， 但与温度无关，因此测量不受温度的影响。 上一页 返 回 下一页 上一页 返 回 U R1 R2 R4 R3 U0 Rs Rp VD 温度变化而变化，将引起零漂和灵敏度漂移 零 漂 扩散电阻值随温度变化 灵敏度漂移 压阻系数随温度变化 零 位 温 漂 串、并联电阻 灵敏度温漂 串联二极管 串联电阻Rs起调零作用 并联电阻RP起补偿作用 例题：一台采用等强度梁的电子称，在梁的上下两面各贴有两片电阻应变片，做成称重传感器，如图2-12（见教材，附下）所示。已知l=10mm，b0=11mm，h=3mm，E=2.1×104N/mm2，K=2，接入直流四臂差动电桥，供桥电压6V，求其电压灵敏度(Ku=U0/F)。当称重0.5kg时，电桥的输出电压U0为多大? 解：等强度梁受力F时的应变为 当上下各贴两片应变片，并接入四臂差动电桥中时，其输出电压： 则其电压灵敏度为 =3.463×10-3 (V/N)=3.463(mV/N) 当称重