AIM机上PAM测定の手顺书.pdfVIP

NXT V3.90 バージョンアップレポート添付資料　　　　　 　　　　　　　　文書番号：NXT-V0033 機上PAM 測定　－ AIM － 　　　　　　　　　　　　　　全 23ページ中 1ページ 機上 PAM 測定　－ AIM － 機上 PAM 測定とは 専用の測定機が無くても装置の装着精度を知りたい場合や証明してほしい場合がある。 このような時に装置単体で実装と測定を行い、装着精度を証明する機能である。 1. はじめに AIM では各ヘッド毎に機上 PAM 測定を行う。 その際、効率的に行うためステージ１側およびステージ２側それぞれのデバイス（カメラ）におけ る測定を 1 つの JOB にて行う。 よって、AIM1 台で 4 回（4 ヘッド分）の機上 PAM 測定を行う必要がある。 ＊ PAM を行う場合、先ず始めにモジュールのキャリブレーションデータをクリアしてキャリブレ ーションの再測定コマンドを実行してから PAM を行う。 ＊ すでに PAM 精度出しをした装置にて精度確認を行う場合（ユーザー先据付作業時など）は、 該当するヘッドのファイナルオフセットは削除せずに PAM を行う。 装着精度が良好ではない時に、ファイナルオフセットを削除してから PAM