SPM的关键技术.docVIP

SPM的关键技术 先进的扫描探针显微镜（SPM）是集精密光学技术、精密机械、电子技术、信号处理技术、图像处理技术、自动控制技术和计算机技术于一身的系统，无论国内国外的SPM都是由微弱信号检测系统，扫描系统，控制系统组成。这些系统的功能和性能决定了一台商用SPM的性能。 微弱信号检测系统 1.1扫描隧道显微镜（STM） 当一根极细的金属针尖和导电样品间距离在纳米级时，在针尖和样品间施加一定的电压，由于隧道效应产生隧道电流，隧道电流与针尖样品间距呈负指数关系。隧道电流一般在纳安和亚纳安级，微小电流的检测技术就成为STM的关键技术之一。 1.2原子力显微镜（AFM） AFM是通过探测极细针尖和样品之间的作用力来检测针尖样品之间的距离。AFM的发展首先得益于能够探测微小力的微悬臂探针的发明，它是一端固定的悬臂梁，在它的自由端有一根极细的针尖，悬臂梁的弹性系数一般为0.03N/m~48N/m，针尖的曲率半径为几个纳米。 光杠杆技术：光杠杆技术将微悬臂受到原子间作用力而产生的埃级的位移放大几百到一千倍到光电探测器上，放大倍数由杠杆的长度决定。光电探测器再将激光光斑的移动转换成可测量的电信号，从而最终测量针尖样品间的皮牛级的作用力。 2.压电扫描器及非线性校正及标定技术 要实现SPM的XYZ空间的亚纳米级的分辨，不仅有微悬臂，还要有将针尖和样品精确的定位和移动在亚纳米级的器件。一般采用四分电极的压电陶瓷管来实现样品和针尖的XYZ三个方向的相对移动。 但是由于压电材料固有的磁滞性、蠕变性等特性，导致压电扫描器的非线性特性，即扫描器的位移与所加的驱动电压不成线性关系。另外压电材料受温度、适度等环境因素的影响也会造成系统的漂移。即使选用国外进口的高档压电陶瓷管，也要进行筛选测试，和一系列处理才能达到要求。我公司采用独特的工艺技术，制造的高品质的扫描器处于国内领先地位。 爱建纳米采用先进的非线性校正及标定技术，在扫描器的全量程范围和任意扫描角度下有效消除非线性导致的图像扭曲和失真，并且实现高精度的标定，国内领先接近国际最高水平。 3.全数字化电子学控制系统 在扫描器的XY方向施加特定的电压，使探针在表面作光栅式扫描。同时反馈控制系统控制上下移动样品或针尖，保持检测信号（如：隧道电流、悬臂偏折）在某一特定值（设置点）。针尖样品在X、Y、Z三个方向的空间位置被记录下来，成为样品表面的三维形貌。 爱建纳米SPM系列产品采用全数字化控制，全数字化技术体现了爱建纳米的强大的SPM研发实力，更重要的是作为SPM的关键技术——数字化控制技术，使SPM控制更加精确和方便。为了实现全数字化，新型电子学控制箱采用了先进的数字处理芯片（DSP），可高达5M采样频率的A/D芯片，同时新增加DSP数字滤波技术，数字化锁相放大技术，改进型数字PID反馈算法。数字化技术使新型的控制箱的性能大大提升，功能更加强大，系统噪音更低，升级和维护更容易。 3.1数字化改进PID反馈技术 反馈控制系统采用改进的数字PID反馈算法，可以通过软件控制反馈参数，控制更精确，调节更方便，使样品图像更清晰。 3.2数字锁相放大技术： 采用锁相放大技术，精确测量悬臂振动的振幅和相位等其它参数，提供您关于样品表面的粘滞力，硬度，组成等多种信息。锁相放大技术能对设定频率下的信号进行放大处理，具有极强的抗干扰能力，而且中心频率始终跟随检测信号的频率，通过反馈还可以锁定相位，所以具有强大的能力从噪声中检测出被掩埋的信号。 相比于模拟实现方法，数字化大大提高了相位测量的准确性。数字化系统避免了模拟乘法器的谐波失真和热漂移，同时数字化系统还可以实时调节滤波器的参数，以适应不同频率的信号，从而达到更佳的效果。 3.3直接数字频率合成（DDS）技术 采用DDS技术，能产生频率、幅度可调的任意波形，范围为0.02HZ～10MHZ（可更高），精度可达0.02HZ，输出振幅为0～10V，50MHz的频率更新速率。而且系统还预留一个DDS，实现多种SPM所需的调制功能，也可供用户使用。 4.精密制造技术 我公司花巨资购进了大量的spm零部件和元器件测试筛选设备，严格按工艺流程组织批量生产，整个生产过程都有严格的质量保证体系，凡出厂的产品都经过严格的内部测试和72小时不间断老化试验，这是家庭作坊式公司和小公司无法和没有能力做到的。 由于我们的高水平制造技术和良好的服务，经常应客户之邀，修复多家国际知名spm厂商的光杠杆部件、扫描器和控制箱产品 4.SPM认识误区 4.1原子分辨率的误区 STM空前的原子分辨能力使世界为之震惊，发明者也很快获得了诺贝尔物理学奖。理论上来说，AFM也具有在任何表面获得原子分辨图像的可能。然而事实上，AFM并不能分辨单个原子，也就是说AFM