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大功率激光二极管阵列光束整形技术 勾志勇 摘要：大功率激光二极管阵列相比于同等功率的激光有着无比优越的高性能和可靠性，在军事、工业、医学、航空航天等领域有着广阔的应用前景。在具体应用中，大功率激光二极管阵列的光束整形技术扮演着一个重要角色。文中提出折―反光束整形系统，把线光束整形为方形或者圆形,利用此系统，把5mm线光束整形为5mm×5mm的方形光斑，软件模拟结果证明设计方法的正确性和可行性。 关键词：光束整形； 大功率激光二极管阵列； 光参量乘积 中图分类号：TN248.4 文献标识码：A 文章编号： Beam-Shaping Technology for High-Power Diode Lasers Bar GOU Zhi-yong Abstract：The high—power laser diode bar has many advantages over conventional lasers of similar power levels, and have a broad application prospect in the fields of military , industry , medical science , Aero-Space etc. The technology for beam shaped high-power laser diode bar or stack plays a key role for most of the applications. It is proposed that a refract-reflective system shaped high-power laser diode array in the paper, square or round light spot can be obtained by using this system. Finally, a example is presented that 20mm line light beam is shaped a square light spot of 5mm?mm through the simulation of software, results have verified exactness and feasibility of the methods. Keywords：beam shaping; high power diode lasers bar; Beam Parameter Product(BPP) 1 引言 目前，大功率激光二极管(HPLD)从条形(Stripe)巴(Bar)的数十瓦至百瓦、到堆栈(Stack)巴的数百瓦至千瓦输出(快轴)和平行于结平面方向(慢轴)出现较大的差别，如图1所示：两个方向有较大的且不对称的发散角，在峰值半宽（FWHW）处，快轴方向发散角处～，慢轴方向发散角为～；快轴方向为基横模高斯分布，光束接近衍射极限(M2≈1)，慢轴方向为多模高斯分布，光束质量极差(M2 1000)；发光面在快慢两个方向相差很大，在快轴方向上发光尺寸为几微米，慢轴方向上发光尺寸为上百微米；发光点在空间分布上较稀疏，一般占空比为30％左右，输出光能量不集中。HPLD要获得更广泛的应用，必须采用光束整形方法，解决光束质量差、功率密度低的问题。早期的光束整形采用光纤光束法[1]，每个激光巴（Bar）经快轴成像后耦合到相对应的光纤；文献[2]中梯形镜法属于典型整形法，线光束通过多个反射镜片分割重排；文献[3]使用两棱镜组对线光束进行分割重排；文献[4]采用两反射镜法对线光束整形。 作者简介: 勾志勇(1979－),男,重庆人,土家族, 助工/ 硕士，主要从事光学设计及激光技术应用研究工作。Fig1:laser bars illumination 2 整形原理 光束质量的评价可采用光参量乘积来表征。光参量乘积(Bpp)是光束的束腰宽度与发散角的乘积：Bpp=ω×θ。通常的光学成像系统不能改变光参量乘积，所以快慢轴方向极不对称的LD bar或LD stack输出线或线阵光场，很难通过普通的光学成像系统聚焦成小而圆的光斑，而在许多应用中都需要得到这样的聚焦光斑。因此，必须将LD光束分割、旋转、重排，使慢轴方向上的光参量乘积减小，达到均衡光参量乘积来提高光束质量。 首先对半导体激光器巴的光束在快轴方向采用微非球面柱透镜准直，慢轴方向上采用微柱透镜或者微阵列准直，准直后的光束为一线状光束。光束整形器的作用是把这一线状光束进行切割成N条，并重新排列成一个预定的分布，譬如方形或者圆形。如前所述，大功率激光二级管光束质量很差，快轴方向光束接近衍射