ESD故障模式分析.ppt

◇ 靜電如何形成 　 ◆ 靜電是史載最早發現的一種〝電〞 　 – 靜電其實是自從有人類以來，就影響著人類的生活 – 西元前 640年， 希臘哲學家 THACES 把琥珀(Amber) 摩擦後發現可以吸附毛髮，而開始知道靜電的存在 ◆ 靜電的形成 ? 導 體 – 具有可移動的電子或價電子 (Valence Electrons) 在原子 結構的最外層，亦即受原子核 (Nuclei) 的束縛最小，當受到外 來電場的吸引而移動 (產生電流) ，此類物質稱為導體 ? 絕緣體 – 缺乏上述可移動的電子或價電子的物質，稱為絕緣体 ◇ 半導體產品抗靜電能力 　 ◆ 抗靜電能力之量測(Human Body Model) 　 ? 依 MIL-STD-883，Method 3015， 測試線路圖 ： 　 ◆ ESD 對人体會造成傷害嗎？ 　 ? 家中的110V、240V常常因為使用不慎造成傷亡，那動輒幾之ESD 呢？是否會對人體造成傷害呢？ ? 造成肌肉或心臟麻痺主要的是……電流，尤其是交流電流。 ? 電流對人體傷害分析表 (MIL-STD-454) 。 電 流 大 (毫安培 、mA) AC (60Hz) DC 結 果 0-1 0-1 有知覺 1-4 4-15 感到驚訝 4-21 15-80 有反射動作 21-40 80-160 肌肉麻痺 40-100 160-300 休克 100 以上 300 以上 立即死亡 ◇ ESD 的影響品質方式 　 1. 人體放電模式(Human Body Model , HBM) 　 – 顧名思義知道此為借由人體於走動摩擦產生靜電，而影響 到元件的模式 　 2. 電場感應模式(Field Induced Model , FIM) 　 – 指由於外來電場感應產生電荷，巧遇機緣而將電荷引導接 地引起的模式 3. 充電元件模式(Charged Device Mode,CDM) – 上述FIM模式中當元件被移離開電場或接地時，就變成 CDM模式 ◇ 元件被ESD 破壞之原因及型態 ◆ ESD破壞之原因： 　　　1. 功率產生：如熱崩潰、 金屬被熔融 　　　2. 電壓產生：如介電質崩潰、表面崩潰 　　　3. 潛在性故障：如功能劣化、降級 　 ◆ ESD破壞之型態 1. 接面崩熔（Junction Burnout） 過大的電流通過接面時，產生極大的熱量，使得接面崩熔。此種 破壞是屬於接面短路，並有二個特性 A..即使ESD的能量未能打穿接面（Junction Burnout），也能造成元 件的失效 B. 正向偏壓的ESD破壞能量是負向偏壓的5~15倍 2. 氧化層貫穿針引線（Oxide Punch Through） 通常在金屬氧化層半導體（MOS）上可以發現此類型之破壞， 這是由於外加的靜電壓超過了氧化層的崩潰電壓所致。