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曝光,蚀刻.ppt
* 曝光E/T设计标准书 概 要 1. 标准教育,传阅日志 2. 修改履历 3. 设计标准内容 : 生产技术 作成部署 保管场所 管理负责者 管理号 区 分 ※标准管理部署 标准管理 教育担当 教育人员 教育场所 教育时间 教育对象 标 准 教 育 标 准 传 阅 署名 姓名 署名 姓名 署名 姓名 署名 姓名 署名 姓名 区分 标准教育,传阅 1 Page 0 改正番号 改正日期 工程名:曝光E/T 2007.12.28 制成日期 WSIDS-G0001 文件番号 设计标准书 SIF 2008.02.19 1 2007.12.28 0 承 认 署名/年月日 检 讨 署名/年月日 作 成 署名/年月日 第.改正日期 第.改正番号 批准日 署名 李殿锋 胡工卫 王建祝 姓名 开发科 品质保证 生产技术 生产 协议部署 25 改正PAGE 起案部署 起案着 第.改正内容 改正日期 改正 番号 生产技术 生产技术 冯建德 冯建德 曝光E/T工程-设计标准制定 添加CPK计算时数据选取标准 2007.12.28 2008.02.19 0 1 改 正 履 历 2 Page 1 改正番号 2008.02.19 改正日期 工程名:曝光E/T 2007.12.28 制成日期 WSIDS-G0001 文件番号 设计标准书 SIF 2008.02.22 25 样本选取标准 10 2007.12.28 24 PIC 运用关联标准 9 2007.12.28 23 产品的PAD SIZE及资材SIZE 8 2007.12.28 21~22 Fine P/T 保证标准 7 2007.12.28 20 两面手动曝光机 6 2007.12.28 8~19 P/T保证直检点资料 5 2007.12.28 7 LDI MULTI外层 P/T别保证值 4 2007.12.28 6 两面内层, LDI两面 P/T别保证值 3 2007.12.28 5 两面,MULTI外层 P/T别保证值 2 4 PAGE 设定日 标准内容 番号 2007.12.28 单面P/T别保证值 1 设计标准内容 3 Page 1 改正番号 改正日期 工程名:曝光E/T 2007.12.28 制成日期 WSIDS-G0001 文件番号 设计标准书 SIF 1 备注 标准内容 番号 ? 设计标准内容 : 单面 P/T别保证值 单面 45/35 40/40 1/3oz 20? (H-Y920) 55/45 50/50 65/55 60/60 75/65 70/70 1/3oz 70/50 60/60 1/2oz 25? (H-9625) 80/60 70/70 90/70 80/80 100/80 90/90 110/90 100/100 1/2oz 90/50 70/70 100/60 80/80 110/70 90/90 120/80 100/100 1/2oz(金镀金 ) 90/50 70/70 100/60 80/80 110/70 90/90 120/80 100/100 1oz 110/50 80/80 120/60 90/90 130/70 100/100 1oz(金镀金) 30? (KS-7830) 保证值 P/T 铜箔厚度 (?) D/F 种类 4 Page 0 改正番号 改正日期 工程名:曝光E/T 2007.12.28 制成日期 WSIDS-G0001 文件番号 设计标准书 SIF 2 备注 标准内容 番号 ? 设计标准内容 : 两面,MULTI外层 P/T别保证值 两面 MULTI 外层 1/2oz+12 25? (H-9625) 110/50 80/80 50/30 40/40 1/3oz(H/E)+8 70/30 50/50 90/30 60/60 100/40 70/70 1/3oz+8 20? (H-Y920) 90/30 60/60 100/40 70/70 1/3oz+8 105/45 75/75 120/60 90/90 130/70 100/100 1/2oz+12 30? (KS-7830) 保证值 P/T 铜箔厚度 (?) D/F 种类 保证值 P/T 铜箔厚度 (?) D/F 种类 100/40 70/70 1/3oz+15 or1/3oz(H/E)+15 (只 3L 可以 ) 25? (H-9625) 110/50 80/80 120/60 90/90 130/70 100/100 1/2oz+15 30? (KS-7830) 5 Page 0 改正番号 改正日期 工程名:曝光E/T 2
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