CVD金刚石薄膜的形核的研究.pdfVIP

·312· 材料导报 2007年l1月第2l卷第llA期 CVD金刚石薄膜的形核研究4 黄建良1，汪建华1t2 (1 武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室．武汉430074 2 中国科学院等离子体物理研究所，合肥230031) 摘要 实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置，在Mo、Ni、Fe3种不同类型的异质衬 底上进行了金刚石形核研究；实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为：微波功率3000W，工作气 式能够抑制低温低气压条件下碳的石墨化趋向和提高膜、过渡层、衬底三者之间的结合力，进而可以有效地提高和改善 金刚石膜的形核密度和质量。 关键词 微波化学气相沉积形核金刚石膜 中图分类号：0484．1文献标识码：A ResearchonMW—CVDDiamondfihnNucleation H