溶胶-凝胶法制备透明氧化物薄膜晶体管的研究进展.pdfVIP

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2017-08-21 发布于北京
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溶胶-凝胶法制备透明氧化物薄膜晶体管的研究进展.pdf

: 信恩龙等溶胶凝胶法制备透明氧化物薄膜晶体管的研究进展- １３０１３文章编号: ( ) １００１-９７３１２０１４１３-１３０１３-０８溶胶凝胶法制备透明氧化物薄膜晶体管的研究进展- ∗ , １２２２ , , 信恩龙李喜峰张建华 ( , ; 上海大学材料科学与工程学院上海１．２０００７２ , ) 上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室上海２．２０００７２ [ ] : ( ) 、、１-２ , 摘要透明非晶氧化物薄膜晶体管曲大面积低成本等优势也成为研究热点近年　　 TAOS-TFT 、、 , ( ) 相对于硅基 TFT 具有均一性好迁移率高兼容低温来由于透明非晶氧化物半导体 TAOS 作为有源沟 , 、、柔性基板等优点能够广泛用于平板有源显示领域特道层的薄膜晶体管具有高光学透过率高电子迁移率别是有源矩阵有机发光二极管显示( )的驱 , , AMOLED 均匀以及能够兼容低温柔性基板等优点成为取代 a- . , 动背板溶胶凝胶法制备薄膜晶体管不需要高真空- 及的潜在趋势能够广泛用于平板有源 Si LTPS TFT , 、 , , , 的环境成本低工艺简单化合物成分易于控制能够显示领域特别是有源矩阵有机发光二极管显示的驱 , . , 均匀定量地实现分子水平的掺杂满足新技术研发的动背板随着透明氧化物研究的深入以 IGZO 等半 , , , 需求近年来引起了广泛关注研究主要集中在寻找合导体材料作为活性层制作薄膜晶体管因性能改进显