一种差动式SMA执行器驱动无阀微泵.pdfVIP

一种差动式SMA 执行器驱动无阀微泵1 王凤翔，夏刘可 沈阳工业大学电气工程学院，沈阳 (110023) E-mail：wangfx@ 摘 要：无阀微泵广泛应用于生物医学学工程、微机电系统和药物微量输送等领域。本文提 出了一种差动式形状记忆合金（SMA ）执行器驱动的新型无阀微泵。该无阀泵具有锥形入 口和出口而不需要阀门控制，单方向泵流是靠锥形入口和出口的收缩和膨胀作用实现的，差 动式形状记忆合金执行器在交变电流的控制下使无阀泵的挡板往复运动。该文分析了差动形 状记忆合金执行器的运行原理、结构和控制方法，无阀泵的单向泵流机理、结构和设计方法。 原理样机试验结果验证了该种无阀泵的运行机理和设计方法的可行性。 关键词：形状记忆合金，差动执行器，无阀，微泵 1．引言 微流体系统是微机电系统（Micro-electromechanical System，MEMS ）的重要组成部分。 由于微流量系统能精确检测和控制流量，在药物微量输送、燃料微量喷射、细胞分离、以及 微量化学分析等方面有着重要的应用前景。作为微流量系统的动力源，微泵在微流体研究领 域占有重要的地位。根据其有无可动式阀片，可分为微型有阀泵和微型无阀泵。微型无阀泵 与有阀微型泵相比，它的结构简单，在制造工艺上减少了阀片制作和阀片键合工序，并且无 需对阀门进行控制，是微型机械泵一个新的研究热点。 通常说的形状记忆合金 SMA(Shape Memory Alloy)，是一种温控型的具有形状记忆功能 的合金，在低温时产生塑性变形，温度升高后具有恢复原有所记忆形状的能力。最常见的 SMA 是一种 Ni-Ti 合金，其形变温度范围一般在-100～200ºC ，能够完全恢复的形变率可达 6～8%,比超磁致伸缩材料Terfenol-D 变形率高出约 50 倍，用于制作驱动器具有体积小、结 构简单、噪声低和控制电压低等优点[1, 2] 。 2 ．差动式SMA执行器的结构和运行原理 2.1 SMA 弹簧的变形特性 SMA 材料可以制作成棒、板及弹簧等多种形状能够满足不同应用领域的要求。一种大 的变形位移和输出力的驱动器可用 SMA 弹簧制造。图 1 是 SMA 弹簧通电加热前后形状变 化的对比照片，可以清楚地看出 SMA 加热后长度有很大的伸长。当温度升高到相变点以上 时，SMA 弹簧开始产生相变，长度伸长，断开加热电源后，SMA 弹簧受环境温度的影响， 温度开始下降，到相变点温度以下时，具有单程记忆效应的 SMA 弹簧可用外力将其恢复到 原来长度。通过控制 SMA 弹簧上加热电流，便可控制其变形[3-5] 。 对由 0.8mm 粗 SMA 导线缠绕 20 匝制作的直径为 5mm 的弹簧，通电加热试验测得的温 控特性曲线如图 2 所示。可以看出，在加热过程的开始阶段，弹簧温度随加热时间呈线性关 系增加，而后温度上升速度逐渐变缓，最后趋于稳定。加热电流越大，SMA 弹簧温度上升 速度越快。图 3 所示为实验测得 SMA 弹簧伸长速度与通电加热电流之间的关系曲线。可以 看出，SMA 弹簧的伸长速度近似与加热电流的平方成正比，因为当导体电阻为常数时通电 弹簧产生的热量（温度）与通电电流的平方成正比。如图 3 所示，如果加热电流过小（小于 1.25 A)，则 SMA 弹簧将不会伸长，因为弹簧温度低于相变转换温度。 1本课题得到高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号：20040142004 ）的资助。 -1- 图 1 加热前后SMA 弹簧变形对比 Fig. 1 Shape comparison of SMA spring before and after heating 35 80