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纳米阵列阳极氧化铝模板的制备及其形成机理.pdf
14 Vo l42 No6 Jun2009 M aterials Protection
纳米阵列阳极氧化铝模板的制备及其形成机理
胡宁宁 , 葛世荣 , 倪 自丰
(中国矿业大学机电学院 , 江苏 徐州 22 1008)
[摘 要 ] 多孔阵列阳极氧化铝模板为合成大面积的准一维纳米丝和纳米管微阵列提供了一种有效的
载体 。采用二次氧化法 ,制备了孔径在 30 ~40 nm 之间的纳米阵列氧化铝模板 ,分析了纳米阵列阳极氧化铝
( )
模板形成的热力学原理 、动力学原理及孔的形成机理 。采用扫描电子显微镜 SEM 对其形貌进行了表征 ,通
过扩孔试验得到了孔径与扩孔时间的关系 。用 XRD 衍射仪对纳米薄膜的成分和形态进行了分析 ,证明了制
备的氧化膜是非晶态的。
[关键词 ] 阳极氧化 ; 多孔氧化铝模板 ; 热力学 ; 动力学 ; 成孔机理
[中图分类号 ] TG174. 451 [文献标识码 ] A [文章编号 ] 100 1 - 1560 (2009) 06 - 00 14 - 03
( )
0 前 言 酸和无水乙醇混合液中 1 /4 HC lO4 + 3 /4 无水乙醇 , 8
V 电解抛光 2 m in ,降低表面粗糙度 。
( )
阳极氧化铝 anodic alum inum oxide, AAO 模板合
1. 2 AAO 模板制备
成技术是近年发展起来的组装纳米结构材料的最重要
技术之一 ,其优点有 [ 1~5 ] :制备工艺简单 ,孔径大小可 预处理后的铝片在 0. 3 mo l/L 草酸溶液中进行第
调 ;模板耐高温 、绝缘 ,在可见光区和大部分红外光区 一次阳极氧化 ,施加 40 V 恒定电压 ,温度控制在 0 ~1
透明;适用于金属 、合金 、非金属 、半导体氧化物 、硫化 ℃,时间 6 h。搅拌器持续搅拌 ,防止铝片周围温度过
物 、高分子聚合物等多种材料的组装 。近 10 年来制备 热 ,局部浓度过高 ,铝片被 电流击穿 。一次氧化膜的
阳极氧化铝模板的技术已经比较完善 , 利用二次阳极 有序 性较差 , 所 以用质量分数 6 % H PO 和 1. 8 %
3 4
氧化可以制备孔洞直径可控的 AAO 模板 。本研究分 H CrO 混合液 60 ℃浸泡 2 h ,将膜层溶解掉 。此时 ,
2 4
析了纳米阵列阳极氧化
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