固体热释电红外成象转换器_CarlosB_Roundy.pdfVIP

固体热释电红外成象转换器 提要】 文 绍 了一 固 红 器 , 且 【 本 介 种制作 体热释电 外探测 列阵的技 并 着 重 论了 一 探 器列 , 别 器 讨 与 般 的热释电 测 阵 特 是与固体热释电探测 列阵相关的 四个主要 问题 灵 敏度, 空间 分辩率, 衬底 的热 负载, 。 工 上切 可 可 以证 明, 一 立 器 艺 实 行的制作技 在 个分 的寄存 中将高斩 。 子 组合 , 就 灵 空问 光率和 电 信号积分 起来 能够得到很好的 敏度和高的 分辩率 厘 元 况下 最, 可以 企分辩率是 线对 米 象 线度为 微米 的情 佳斩光率 高到 足 以 只 小 没 应。 以 混, 器可 以 使衬底 有很 的 或者 有 热负载效 所 合式探测 使 。 ’户一 工 用简便的倒装 爪 联接或者导线联接 艺制作 以最近 子 墓 明, 报道 的 多路传输电 学性能为 础所做的计算表 当等效 、 空间分 线 厘 号 , 可得 最小 帧频是 赫 辩率是 对 米和有 电子信 积分时 到的 。 , 一 分 温 是 同 空 间分 的 下 这 能比 目 工 辩 度 在 样 辩率 条件 性 前最新 艺水 平 释 要 左右。 的热 电摄象管的性能 好 倍 我们制作 了一种有 自扫描场效应晶体管 多路传输 电子线路的 元 器列