光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究.pdfVIP

第 28 卷　第 1 期 　　 光　学　仪　器 V o l. 28,N o. 1 2006 年 2 月 O P T ICA L IN STRUM EN T S F eb ru ary, 2006 文章编号:(2006) 0 1007406 光谱仪动镜倾斜误差分析及其动态校正技术研究 尹邦胜, 曾立波, 雷俊锋, 杨　琨 (武汉大学光谱与成像仪器工程中心, 湖北 武汉 430072) 　　摘要: 采用了双光束干涉的迈克尔逊干涉仪系统的傅里叶变换红外光谱仪, 在动镜运 动过程中, 动镜可能在三个方向发生倾斜。通过建立干涉面光强分布的二维数学模型, 确立 了干涉图函数的数学表达式, 从调制度、相位误差和频率噪声的角度, 对动镜倾斜误差进行 了系统分析。在误差分析的基础上, 对动镜容许的最大倾斜角度进行了讨论, 并对其动态校 正技术的要点做了分析。 关键词: 傅里叶变换光谱仪; 动镜倾斜; 调制度; 动态校正 中图分类号: TH 744　　　文献标识码: A Error ana ly sis of the m irror t ilt in g in spectrum tran sf orm in terf erom eter an d the study on dynam ic a l ignm en t techn ology , , , Y IN B ang sh eng Z EN G L i bo L E I J un f eng YA N G K un ( , , 430072, ) Eng in eer ing R e search Cen ter o f Sp ect rum an d Im ag ing In st rum en t s W uh an U n iver sity W uh an Ch in a 　　 : A bstract T h e M ich elson in terferom eter sy stem w h ich h a s tw o b eam in terferen ce is app lied in Fou r i er T ran sfo rm in terferom eter , th e m ov in g m ir ro r cou ld t ilt in th ree d irect ion s in m o t ion. In th is p ap er , a tw o d im en sion m ath em at ica l m o del o f th e in terferen t ia l p lan e is b rou gh t ou t , an d th e fun ct ion o f th e in terfero g ram is e stab lish ed. B y an a lyzin g th e m o du lat ion dep th , p h a se er ro r an d frequ en cy