高纯钨、钼、钽、铌工业分析进展.pdfVIP

第28卷第6期 湖南有色金属 2012年12月 HUNANNONFERROUSMETALS 7l 高纯钨、钼、钽、铌工业分析进展 张 颖 (株渊硬质合金集团有限公司，湖南株洲412000) 摘要：评述了二十年来高纯稀有难熔金属领域钨、钼、钽、铌工业的分析进展，包括分光光度分析、 原子吸收／发射光谱分析、质谱分析、中子活化分析和电化学分析等。引用文献50篇。通过对文献 的多角度分析，反映了高纯钨、钼、钽、铌分析领域的行业布局，指出质谱分析等多元素同时痕量分 析是高纯钨、钼、钽、铌工业分析的发展主流，但分光光度分析等单元素分析方法仍具有不可替代 性。 关键词：钨；钼；钽；铌；分析进展 中图分类号：0614．61+3文献标识码：A 文章编号：1003—5540(2012)06—007l一06 钨、钼、钽、铌是稀有难熔金属家族中的主要成员， 工业大规模集成电路的配线材料、太阳能工业新型 由于其特有的高温稳定性、化学耐腐性等优良性质，在 薄膜系太阳能电池等高新材料领域。高纯钼由于其 国防军事、航空航天、机械加工、电子能源工业一直发挥 极优的性能表现在现代电子、半导体、光伏产业中成 着重要作用。近二十年来，由于科学技术的进步，市场 为首选的高端优质材料。 需求量增加，钨、钼、钽、铌的研究和应用迅速发展，随着 钽常用来制造抗腐蚀设备，电子管的电极、整流 钨、钼、钽、铌冶金新工艺及提纯制备新技术的出现，高 器、电解、电容，用作火箭、导弹和喷气发动机的耐热 纯钨、钼、钽、铌的分析检测技术也在相应改进和提高。 高强材料，医疗上用来制成薄片或细线，缝补破坏的 本文综合了近二十年来国内外关于高纯钨、钼、钽、铌的 组织。钽的硼化物、硅化物和氮化物及其合金用作 分析检测技术的文献，进行了多角度分析，并探索了高 原子能工业中的释热元件和液态金属包套材料。高 纯分析技术发展的主流方向。 纯钽用来制备高性能电解电容器、钽丝、超大规模集 成电路用溅射镀膜靶材等，广泛应用于集成电路、片 l高纯钨、钼、钽、铌的应用 式元器件、微电子、信息等前端产业。 钨以纯金属状态和合金系状态广泛应用于国防 金属铌具有熔点高、蒸汽压低、冷加工性能好、 和军事航空航天、电子信息、能源、冶金、机械工业。 化学稳定性高、抗液态金属和酸腐蚀能力强等一系 合金系状态中最主要的是合金钢、以碳化钨为基的 列优异性能，铌热中子俘获截面小，铌及铌钛、铌锡 硬质合金、耐磨和强热合金等。5N以上的高纯钨具 合金超导性能好，高纯铌用于铌溅射靶材、超导加速 有对电子迁移的高电阻、高温稳定性以及能形成稳 器和超导谐振腔的腔体等。在电子、原子能及航空 定的硅化物，在电子工业中常以薄膜形式用于超大 航天、现代战略武器、超导技术、科学研究、医疗器械 规模集成电路作为电阻层、扩散阻挡层、过渡层等， 等领域均有广泛应用。 并在金属氧化物半导体型晶体管中作为连接材料。 2高纯钨、钼、钽、铌分析进展 高纯钼主要被制备成纯金属靶材或合金靶材。 高纯钼溅射靶材由于其杂质含量极少、化学纯度很 随着高纯材料制备技术和分析检测技术的进 高，从而可形成更高品质的薄膜材料，现已广泛用于 步，高纯金属材料的纯度也在不断提高。但由于材