数控检测技术第 5 章.pptVIP

5.4.1 长光栅检测装置的结构 1.长光栅检测装置的结构 主要结构为标尺光栅和指示光栅 栅距和栅距角（两个光栅错开的角度） 图5.9 光栅的结构 1-防护垫 2-光栅读数头 3-标尺光栅 4-防护罩 VS 3 1 2 4 3 1 2 4 5 标尺光栅 图5.10 光栅读数头 1-光源 2-准直镜 3-指示光栅 4-光敏元件 5-驱动线路 5.4.1 长光栅检测装置的结构 2.工作原理（以透射投影为例） 莫尔条纹： 严格来说： 横向莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直 d VS θ d W W Θ 5.4.1 长光栅检测装置的结构 莫尔条纹的特征： （1）莫尔条纹的变化规律：两片两光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹间距。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正（余）弦函数，变化周期数与两光栅相对移过的栅距数同步。 （2）放大作用 莫尔条纹宽度 W 和光栅栅距 d、栅线夹角θ之间关系： 由图可知 W=d sinθ 又θ很小可认为 sinθ≈ θ