超精密磨削大型光学非球面元件的研究,.pdfVIP

维普资讯 第 3O卷第6期 光 电工程 Vo1．30,No．6 2003年 12月 to-Elce tronic En~ineerin 文章编号：1003—501X (2003)06—0043—04 超精密磨削大型光学非球面元件的研究 韩成顺，董 申 (哈尔滨工业大学机电学院，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：介绍了加工大型光学非球面的超精密数控磨削系统，给出了用来生成NC加工软件的加工非 球面时砂轮的中心位置的求解模型，在此基础上讨论并给出了由砂轮安装产生的砂轮与工件主轴 的偏心误差形成的h~_T-_T-件面形误差的计算模型，并提出有效的工具路径补偿方法。通过计算机 模拟验证 了这种补偿方法的可靠性。 ．． 关键词：非球面加工；面形误差；细磨；光学零件加工 中图分类号： TQ17．68 文献标识码：A Studyonultra—precisiongrindingoflargeopticalasphericaldements HAN Cheng-shun．DoNG Shen (DepartmentofMechanicalEngineeringandAutomation，Harbin InstituteofTechnology，HarbinI5O00I，China) Abstract：Anultra-precisionNC grindingsystem usedformachininglargeopticalasphercialelementsis introduced．A solving modelforgenerating centralposition ofa gfindmg wheelwhen machining asphericalopticalelementswithNC machiningsoftwareisgiven．A modelofrcalculating，madtincd surfaceshapeerrorformedbyhtede—centralerrorbetweengrindingwheelinsmllationandworkpicee spindleisdiscussedandgiven．Aneffectivecompensationmehtodfrom toolwayisproposed．Computer simulationdemonstratesthereliabilityofthiscompens~ionmehtod． ． Keywords：Asphericprocessing；Surfaceshapeerror；Lapping；Opticalelementprocessing 引 言 由于非球面光学元件的优越性，已广泛应用于航空 、航天、国防等工业 。特别是在近代大型望远镜 激光核聚变、宇宙探测等系统中。大型光学非球面元件具有球面无法替代的作用。另一方面，由于高能量、 短波长的成像处理需要，提高光学元件的精密度成为首要的前提。因此，对大型精密光学非球面元件的质 量、数量提出了更高的要求 。然而，大型光学非球面元件的制造面临着难度大 、效率低 、成本高等难题 。 随着机械制造业的飞速发展 ，一种新的加工硬脆光学材料的方法—超精密磨削技术，可克服研磨抛光加工 法的低效率、高成本等缺点n】，在高刚度超精密机床上，由数控装置控制经过精密修整的