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材料分析手段及用途归总.pdf
仪器 分析方法 原理 分析元 成分分析（检 拓扑分析 其它分 特点补充
素范围 测极限、深度） （ 分辨 析
率）
XRD WAXD 2dsinӨ=nλ 物相分 （5%-10%） 物像分
析 析、宏
观微区
应力分
析、晶
粒 大
小、极
图，取
向函数
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SEM SEM 二次电子（5nm） 放大倍数
（×10-
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000 ），景
深 大
（3nm ）
BE 背散射电子 面成分像
EDX 特征X 射线的能量 线扫描、面扫
描、面成分像
(0.1%,1μm)
WDX 特征X 射线的波长 (0.01%)
EBSD 电子背散射衍射 晶体对
称、取
向、完
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晶格常
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XPS XPS 光电效应电子 除H 外 表面及深度成 化学键 极高的表面
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