等离子体表面强化技术在模具中的应用.pdfVIP

维普资讯 模《具工业2008年第34卷第7期 等离子体表面强化技术在模具中的应用 黄惠平，卢国辉，黄拿灿 (广东工业大学 材料与能源学院，广东 广州 510006) 摘要：介绍了离子注入、等离子体镀膜技术和等离子化学热处理等现代表面强化技术的工艺原理、技术 特点和在模具中的应用，结果表明，能显著提高模具的使用寿命。 关键词：表面强化；等离子体；应用实例 中图分类号：IG704 文献标识码：B 文章编号：i001—2168(2008)o7—064-05 Application ofplasma surface strengthening technique in tooland die HUANG Hui-pLng．LU Gu~hm，H 【A『NG Na-can (FacultyofMaterialsandEnergy，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou， Guangdong510643，China) Abstract：，n main techniqueofplasma surface strengthening such asplasmaheattreatment，ion plating and ion implantation，theirbasicprinciplesand faetureswerepresented．In addition，hteir industrialapplicationexamplesin toolandmOuldmanufacturingwere involved． Keywords：surface strengthening；plasma；application example 1 引 言 状态，称为第四态。在等离子体中有带电粒子 (电 要生产一副高可靠性、长寿命的模具，设计是 子、正离子)和不带电粒子 (气体原子、受激原子、亚 基础，材料与制造是实现设计 目标的基本保证。其 稳原子)，由于正负带电粒子在数量上近似相等，等 中，在合理选材的前提下，对模具材料的强化是模 离子体在宏观上呈电中性凝集状态。 具制造的重要环节，直接决定模具使用性能和使用 在一定工艺条件下，当某些特定元素的等离子 寿命。 体与材料表面发生作用时，将发生一系列物理效应， 近20年来，材料强化技术发展迅速，新技术、新 如离子溅射、直接注入、级联碰撞、辐射损伤、热峰效 工艺不断涌现。特别是先进的表面技术用于模具材 应、增强扩散、原子沉积和等离子化学反应等。 料强化的前景极为广阔，其中许多重要工艺技术已 等离子体技术在材料中的应用与离子的能量密 陆续进入工业生产领域。现介绍在先进表面技术中 切相关，如图1所示。具体应用于等离子体化学热处 占有重要地位的等离子体表面强化技术在模具中 理、等离子喷涂、表面涂覆、多层膜制取、晶体生长、 的应用。 新材料合成、刻蚀、表面加工、离子注入、离子束混合 和离子束分析等。 2 等离子体表面强化技术 等离子体可理解为气体放电过程中所形成的 有关粒子的集合体，它是物质能量较高的一种聚集