复合分子泵转子离心变形与热变形的有限元分析.docVIP

　　分子泵转子与定子间的工作间隙是分子泵设计时关注的焦点之一，因为如果工作间隙太小，泵的可靠工作得不到保证；反之工作间隙太大，气体沿间隙的返流量增大，严重影响泵的性能。如何选择最佳的工作间隙是设计时比较关心的问题。影响工作间隙大小的因素主要有：转子高速旋转时由离心力引起的离心变形、工作电机及抽气过程中产生热量导致转子温度升高所产生的热变形、转子振动等，而这些因素使转子的动态工作间隙与静态装配间隙产生较大偏差，其中以离心变形影响最大。在分子泵设计中，为了保证分子泵抽气性能及安全性，首先对转子变形量进行分析计算，以确定间隙的大小。 　　本文首先对转子的离心变形与热变形进行了比较与分析，然后对转子变形对工作间隙的影响进行了分析。 1、简化模型 　　复合分子泵转子由涡轮级转子叶列与牵引级组成，与转子形成配合间隙的是定叶片与牵引级定子，各配合间隙为：delta;1、delta;2、delta;3 和delta;4，如图1 所示。转子变形会直接影响配合的各个间隙。在离心变形及热变形影响下，各间隙如何变化，变化多大，哪个间隙变化最大，都是我们关心的问题。本文通过查看转子径向变形和轴向变形来了解间隙delta;1~delta;4 的变化情况。 4、结论 　　本文通过利用有限元分析软件对复合分子泵转子的分析，可得到如下结论： 　　（1）在通常情况下，转子变形主要由离心变形引起的，热变形很小，可忽略不