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高声速SAW金刚石复合结构材料及器件研究.pdfVIP

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  • 2017-08-21 发布于安徽
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高声速SAW金刚石复合结构材料及器件研究.pdf

    第27卷第4期 声学技术 Pt．2 V01．27，No．4 2008钲8H TechnicalAcoustics Aug．，2008 觥赭删涨伍平杜明熙周勇燃 摘要本文阐述了高声速SAW复合结构材料Si0：／Zn0／金刚石／Si及其器件的研究进展情况，给出了该复合结 Q．cm。Zn0薄膜C轴垂直取向度2 构材料及其器件的制作方法和实验结果．Zn0膜体电阻率p，达到1．9×109 入损耗达到11．6dB． 关键词金刚石SAW复合材料相速度 on and SAW MaterialsDevices StudyHighVelocityComplex

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