高电阻标准传迅和精密自动化量测.pdfVIP

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高雹阻棵苹傅遁舆精密自勤化量测 薪仁:锰简世森魔秀蔺 (工案技;峥昕究院量测技衡骚展中·心,新竹市) 摘要量测技斯骚展中心直流高鼋阻系统提供100MQ至1TQ之高鼋阻校芷服耪能量, 其高鼋阻棕率像用lh∞高鼋阻葙蛭蓝膦、串韭辫、串聩,得到l:l、10:1、100:1的比率, MO、lGQ、10GQ、l∞GQ、1 以碍刮l(O TQ之.棕率高鼋阻值t同畸特其阳值苹碓的傅 MQ—l 逮络100 TQ之禚率高鼋阻嚣。高鼋阻精密自勤北量测慷将待校棵苹高鼋阻嚣舆工 作棵苹高鼋阻嚣连接至自勤切换器·由佃人雹瞄透遇I圈阻188介面控帝螨密高鼋阻表、自勤 协换嚣,自勤请取巅练韭对算出鼋阻值。组合操率不磙定度南35ppm一200pp啊。 l前言 本赏验室裂作H鲫m高鼋阻箱,作岛高鼋阻操攀博遍及完成高鼋阻精密白勤他量泐l系统, 高鼋阻箱-GDL6500A、空氟恒温箱、自勤切换嚣及棕苹高鼋阻嚣舆保温葙。由於设借必 须蛭遏掣f证舆测试、重斯评估量测不罐定度,以下鸯本文介绍系统架耩舆投借验 镫、测试及不罐定度分析结果。 2系统.架耩 2.1高鼋阻棵年傅近 围一高鼋阻棕卓傅遮 一鲴)一 sRl050Traxsf盯 圃一高鼋阻棵车傅遗像利用由一组10MQ/st印}hIal高鼋阻箱(醛I Stmdard)[1]、雨组白袋Ham叫1高鼋阻箱(1Gf21s卸Prom、100Gf2/st印}h叮1),及一 MQ至1 组100 ttamon及100G 高雹阻箱的串聊、串韭獬、及蓝骈,其後括虢内南工作鼋匿。1GQ/step Q/stepH绷嘶高鼋阻箱分副由10佃精逐之雹阻值接近=之艨统操单高鼋阻嚣舆高$酗籍僦材料 GQ±0.1596及101.00Gf2-4-0.3l 组襞而成,它们的鼋阻值鸯n.0087l 96。将已懈鼋 MQ鼋阻串肼·岛100MQ揉萃鼋阻,透遇高鼋 阻值的10Mf2/stef,H舶m高鼋阻箱用10徊10 阻表(GDL6500A)校正1 W肛100/1 (I) 及 陆/Iplo/1(1加.1(岛七)) (2) 前9倜高雹阻舆橡率值之差值平均,C;鸯第10徊高鼋阻舆糅季值之差值),可用1GQ/曲印lh瑚 GQ/step Itagn的&傅给100 lhⅨn的耳,韭以100GQ/step}h咖的10得到100GQ棵苹 鼋阻及Rs得到lTQ禄苹鼋阻。然後甩高鼋阳表将各剐的棵萃鼋阳蒋络lGQ、10GQ、100G Q、l TQ之探荜高鼋阻器。 直勤切换嚣 圈 IEEE488Il 巧i%一 oo■■—“^- 保 划…一一wwl ■一一 温 l¨¨o舟l 风图 腿图 箱 Ⅲ .忙旦.耻翔一

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