一种用于质量传感器与电荷探测的新型纳米谐振器.pdfVIP

20蛸年(1t四届)中嗣纳米科技西安研讨会论文集 20惦the4。Chlaese on SYmlmaUm NanoscienceTechnology 一种用于质量传感器和电荷探测的新型纳米谐振器 刘冰王程馨刘泽文 。’ K 。赫 ：；攀清华犬攀徽电子研究所， 北京100084) +∥ 摘要：本文介绍了一种纳采双悬粱支撑微板谐振器。根据动力学微分方程模型，对器件的谐振特性进行模拟，分析了 在不同电压下的非线性效应．模拟结果表明以si，N。为功能材料，最小线宽175纳米的器件，其谐振频率18．IMHz，采 用双悬梁支撑结构有效的抑制了扭转模式谐振的干扰。谐振器工作在常温真空环境下，采用静电驱动。用该结构作质 量传感器，精度达到6．25x10-199／Hz，作电荷计，精度可以达到0．3e／Hz(e为电子电荷)。 关键词：NEMS；微板谐振器；电