静电电容式RFMEMS开关测量系统研制.pptVIP

* * 机械电子工程学院 微纳机电系统研究中心 * 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 静电电容式RF MEMS开关测量系统研制 指导老师：彭 倍 答 辩 人：吴 强 学号：2708003006 1 主要内容 * 课题概述 静电电容式RF MEMS开关原理 光学原理 测量系统搭建 测量结果分析 总结 * 课题概述 * RF MEMS开关：射频微机械开关，RF 射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。 特点：插入损耗小、隔离度高、线性度好、功耗低等 应用：雷达、电子对抗、通信等领域 * 课题概述 * 课题任务：通过对静电电容式RF MEMS开关的研究，设计并搭建一种测量开关薄膜振动的系统。 系统指标：开关时间响应，pull-in电压 * 静电电容式RF MEMS开关原理 * 驱动方式：静电 耦合方式：电容 * 开关横截面示意图 静电电容式RF MEMS开关原理 * * 通过上下电极的静电力来实现开关动作 施加驱动电压，上电极被拉下，信号导通 撤掉驱动电压，上电极恢复原位置，信号关断 光学原理 * * 激光干涉测量是以激光为光源，以激光波 长或激光频率为基准，利用光的干涉原理进行精密测量的方法。 稳定干涉条件：振动方向相同，频率相同，相位一定 激光干涉具有快速、高准确测量的优点 光学原理 * * 光学干涉原理光路图 光学原理 * * 光学原理 * * 测量系统搭建 * * 测量结果分析 * * 测量结果分析 * * 开关位移、时间、驱动电压关系曲线 驱动电压与开关位移变化曲线 由上图得到pull-in电压大约为8V 总 结 * 特色点 利用光学干涉测量微小位移 将被测量转化为电信号测量 * 总 结 * 进一步工作： 提高测量的准确性 对RF MEMS开关其他性能进行研究 * 致 谢 * 感谢母校电子科技大学四年的培养！ 感谢机械电子工程学院领导、老师对我的辛勤栽培和谆谆教导！ 感谢彭倍教授对我的亲切关怀和悉心指导！ 感谢父母对我的鼓励和支持！ * * * Thanks！ * 机械电子工程学院 微纳机电系统研究中心 * 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 机械电子工程学院 * * *