激光矢量分步对角线法的精度分析与研究.pdfVIP

维普资讯 第24卷第3期 机械设计与研究 Vo1．24No．3 2008年 6月 MachineDesignandResearch Jun．．2008 文章编号：1006—2343(2008)03-093-04 激 光 矢 量 分 步 对 角 线 法 a9Zl~r度 分 析 与 研 究 鲁志政 ， 陈志俊 ， 沈颖华 ， 杨建国 (上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 200240，E—mail：powerlzz@gmail．oom) 摘 要：介绍了激光矢量分步对角线法，它是一种使用激光多普勒位移测最仪，结合矢量运算和体对角线 多步测量机床误差的新方法，可以快速、准确检测出机床的空间几何精度，包括 3个定位误差、6个直线度误差 和 3个垂再度误差。并分析了