三维立体结构微纳电极研究.pdfVIP

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三维立体结构微纳电极研究.pdf

38 ( FENXIHUAXUE) 5 2010 5 Ch inese Journal of Analytical Chem istry 8~ 72 研 究 快报 DOI: 10. 3724 / SP. J. 1096. 2010. 00668 * 孙楫舟 夏善红 边超 佟建华 张虹 董汉鹏 陈庆永 ( , 100080) , ( MEM S) , , , H O 2 2 , , ( 8 m ol/L) ( 0~ 200 mol/L 85% ), , , , ; , ; ; ; 1 , , [ 1, 2] , , , , () , , [ 3~ 7] , (MEM S), , , , , , ( SOC), , ( P latinum black) [ 8, 9] , , ( SEM), , , , 2 2. 1 1, ( 973, No. 2009CB320300), ( No. 2009ZX07527 007) ( No. 0971070) * Em ail: jzhsun04@ m a ils. gucas. ac. cn 5 : 9 , 2 ( 1mm ), ( ( 100)) , , ( 1b) , ( SEM ) ( 1c) 50 m, 1 F ig. 1 Schem atic structure of three dmi ensional ( 3D) m icroelectrode chip a. (M icroelectrode system chip); b. ( 3D structure ofw orking elec trode surface); c. SEM ( SEM mi age of electrode structure after Anisotropic w et etching) 2. 2 2 85 KOH 2 Fig. 2 Process flow of 3D pyram idal m icropool array 1. ( Silicon chip cleaning); 2. ( LPCVD Si N ); 3. , ( Spinning ofphotoresist); 4. , , 3 4 ( Patterning of photoresist); 5. ( PE Si N ); . ( )( Anisotropic w et etching); 7. 3 4 ( PE Si N

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