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V01．19
第19卷第5期 传感技术学报 No．5
AND
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct．2006
Nano-AlSurfaceandElectrical CharacterizedFractal
Film Resistivity by
FU Guo-xin，YANG
Yong—zhong。，DINGJian-ning，XIE Ji—chang
212013，China)
films on l ordertO frac—
Abstract：A1thin were Si(11)wafers
deposited bymagnetronsputtering．Inacquire
tal correlationfunctionwas to theatomicforce
dimension(FD)of
surface，height-height appliedanalyze
Electrical ofthefilmwasexaminedwith
microscopyimages．The conductivity four-probe
Theresultsindicatethatthesurface and ofthefilmincreasewiththe
resistivity sputtering
quality，FD
decreasewiththe isconcludedthattheFD be tOdescribe
time，but Annealingtemperature．It mayapplied
the and ofthefilm and the of
resistivity perfectlyoptimizesputteringparameterssputtering
morphologies
procedure．
thin
words：fractal；Alfilm；surface
Key morphology；resistivity
吲巳K℃：0520B；0220
纳米Al薄膜表面形貌与导电性的分形表征
付永忠。，丁建宁，解国新，杨继昌
(江苏大学微纳米技术研究中心，江苏镇江212013)
摘 要：磁控溅射法在Si(111)基底上制备了纳米舢薄膜，用高度相关函数法对薄膜的原子力显微镜图像进行分形维计算，
并用四点探针法测量了薄膜电阻．结果表明，随着溅射时间的延长，薄膜表面质量提高，分形维增大，电阻率也随着分形维的
增大而增大；随着退火温度的上升，薄膜表面质量下降，分形维和电阻率也随之降低．因此认为，分形维能够较好的表征薄膜
表面形貌，分形维与薄膜电阻率存在对应关系，并指出用分形维可以优化溅射工艺参数．
关键词：分形；Al薄膜；表面
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