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3.平衡力式转矩测量仪 图8-25 反馈式小力矩测量系统 第四节 压力的测量 一、压力的量值传递系统二、压力的计量方法和分类三、压力测量装置四、超高压测量五、压力测量仪表的调校和使用六、真空的测量 一、压力的量值传递系统 压力不是基准量,而是力和面积的导出量。压力标准是由准确度很高的标准仪器提供的。 为保证压力量值的准确一致,统一全国的压力量值,使压力仪器仪表的量值准确传递和正确使用,而制定压力计量器具检定系统。该检定系统由基准器逐级往下进行检定传递。压力计量器具检定系统是由计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具组成。 二、压力的计量方法和分类 表8-5 压力测量仪表分类及性能特点 三、压力测量装置 1.液体式压力计 液体式压力计是根据流体静力平衡原理,将被测压力与一定高度的工作液体产生的重力相平衡,采用液柱的高度差来测量压力的仪器。2.弹性式压力计 弹性式压力表是基于弹性元件(单圈或多圈弹簧管、膜盒、膜片、波纹管等)受压后产生的位移与被测压力呈一定函数关系的原理制成的。3.负荷式压力计 负荷式压力计是基于静力平衡原理进行压力测量的,包括活塞式、浮球式和钟罩式三大类。4.电气式压力仪表 随着电子技术,尤其是近代数字技术的发展,使压力测量仪表逐渐地由机械式、模拟式向数字式仪表转化。 1.液体式压力计 图8-26 弹簧管压力表 2.弹性式压力计 弹性式压力表是基于弹性元件(单圈或多圈弹簧管、膜盒、膜片、波纹管等)受压后产生的位移与被测压力呈一定函数关系的原理制成的。图8-26为弹簧管压力表。被测压力p迫使弹簧管2自由端5位移,位移量由曲柄连杆6、扇形齿轮4与小齿轮1构成的机械式传动机构放大,转换成指针3的旋转在度盘上指示出被测压力值。 3.负荷式压力计 负荷式压力计是基于静力平衡原理进行压力测量的,包括活塞式、浮球式和钟罩式三大类。 图8-27 油压活塞式压力计 4.电气式压力仪表 随着电子技术,尤其是近代数字技术的发展,使压力测量仪表逐渐地由机械式、模拟式向数字式仪表转化。 (1)压力传感器 压力传感器用于感受被测压力并将压力信息转换为电气信号输出,供信号处理、显示控制之用。(2)压力变送器 一般用压力表传递压力信息的距离不能很远。 (1)压力传感器 压力传感器用于感受被测压力并将压力信息转换为电气信号输出,供信号处理、显示控制之用。 1)应变式压力传感器:它是发展较早应用较普遍的一种压力传感器。2)压阻式压力传感器:基于半导体压阻效应制成的压阻式压力传感器按结构和制造工艺的不同可分为粘贴型和扩散型两类。3)电容式压力传感器:利用检测电容的方法测量压力,具有灵敏度高、测量精度高、测量范围大、抗振性能好、可靠耐用的特点,在压力测量中获得了广泛的应用。4)振频式压力传感器:振频式压力传感器是采用与振动频率敏感的机械元件作为传感器实现压力测量的,通常也称其为谐振式压力传感器。 1)应变式压力传感器:它是发展较早应用较普遍的一种压力传感器。 它是发展较早应用较普遍的一种压力传感器。常用的有圆桶式和平膜片式两种结构。前者应变片沿圆桶环向粘贴;后者应变片沿平膜片的径向和切向粘贴。应变式压力传感器的测量桥路中,一般多采用热敏电阻元件,补偿材料弹性模量受温度影响的变化。应变式压力传感器的特点是工艺较成熟,成本较低,其线性度优于0.1%;重复性优于0.05%。 2)压阻式压力传感器:基于半导体压阻效应制成的压阻式压力传感器按结构和制造工艺的不同可分为粘贴型和扩散型两类。 图8-28 电容式压力传感器 3)电容式压力传感器:利用检测电容的方法测量压力,具有灵敏度高、测量精度高、测量范围大、抗振性能好、可靠耐用的特点,在压力测量中获得了广泛的应用。 图8-29 振频式压力传感器a)振筒式压力传感器b)振筒式压力传感器的压力与频率关系 4)振频式压力传感器:振频式压力传感器是采用与振动频率敏感的机械元件作为传感器实现压力测量的,通常也称其为谐振式压力传感器。 图8-30 谐振式传感器的组成 (2)压力变送器 一般用压力表传递压力信息的距离不能很远。 1)力平衡式压力变送器:它采用力矩平衡原理,通过深度负反馈将弹性元件测压产生的力矩与输出信号的反馈力矩相平衡,有效地减小弹性模数随温度变化、弹性滞后及变形等非线性的影响,提高了测量精度。2)位移式压力变送器:这是最早采用的电气式压力变送器。3)电容式差压变送器:电容式差压变送器是采用位移式变送器原理构成的新型压力测量仪器。4)“灵巧”型差压变送器:电容式“灵巧”(Smart)型差压变送器由电容式传感器、测量和变送部件组成,见图8-32。 1)力平衡式压力变送器 它采用力矩平衡原理,通过深度负反馈将弹性元件测压产生的力矩与输出信号的反馈力矩相平衡,有效地减小弹性模
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