检测技术 教学课件 作者 卜云峰 主编 第三章 电容式传感器.ppt

(6) 采用组合式与集成技术　 此技术包括三种方法：一种方法是将测量电路的前置级或全部装在紧靠传感器处，缩短电缆；另一种方法是采用超小型大规模集成电路，将全部测量电路组合在传感器壳体内；更进一步就是利用集成工艺，将传感器与信号调理电路等集成于同一芯片，构成集成电容式传感器。 第三节　电容式传感器的测量电路 一、普通交流电桥二、紧耦合电感臂电桥三、变压器电桥四、双T形电桥电路五、运算放大器式测量电路六、脉冲调制电路 一、普通交流电桥 图3-11　普通交流电桥 二、紧耦合电感臂电桥 图3-12　紧耦合电感臂电桥 三、变压器电桥 图3-13　变压器电桥 四、双T形电桥电路 图3-14　双T形电桥电路 四、双T形电桥电路 图3-15　双T形电桥电路等效电路 五、运算放大器式测量电路 图3-16　运算放大器式测量电路 六、脉冲调制电路 1) 对于变间隙差分电容式传感器，该极板间初始间距d0，变化量为Δd时，低通滤波器输出为2) 对于变面积差分电容式传感器，设初始相对覆盖面积为S0，变化量为ΔS，则低通滤波器输出为 六、脉冲调制电路 图3-17　脉冲调制电路a)原理图　b)波形图 图3-18　差分脉冲调宽电路实例 第四节　电容式传感器的应用 一、电缆芯偏心测量二、电容式位移传感器三、电容式压力传感器四、电容式加速度传感器五、晶体管电容料位指示仪 一、电缆芯偏心测量 图3-19　测量电缆芯的偏心原理图 二、电容式位移传感器  图3-20　变面积式位移传感器的结构图 三、电容式压力传感器 图3-21　差动式电容压力传感器 四、电容式加速度传感器 3-22 五、晶体管电容料位指示仪 图3-23　晶体管电容料位指示仪的电路原理图 第三章　电容式传感器 第三章　电容式传感器 第一节　电容式传感器的工作原理及结构形式第二节　电容式传感器的性能及改善措施第三节　电容式传感器的测量电路第四节　电容式传感器的应用 第一节　电容式传感器的工作原理及结构形式 一、电容式传感器的工作原理 一、电容式传感器的工作原理 1.变面积式电容传感器2.变间隙式电容传感器3.变介电常数式电容传感器 一、电容式传感器的工作原理 图3-1　电容式传感器工作原理图 1.变面积式电容传感器 图3-2　直线位移型电容式传感器 1.变面积式电容传感器 图3-3　变面积式电容传感器的派生型a)角位移型　b)齿型极板型　c)圆筒型　d)扇型 2.变间隙式电容传感器 图3-4　变间隙式电容传感器1—固定极板　2—可动极板 3.变介电常数式电容传感器 图3-5　变介电常数式电容传感器 第二节　电容式传感器的性能及改善措施 一、电容式传感器的优缺点二、电容式传感器的设计改善措施 一、电容式传感器的优缺点 一.电容式传感器有如下一些优点： 1.温度稳定性好2.需要的动作能量低3.动态响应快4.可获得较大的相对变化量5.结构简单，可在恶劣环境下工作6.可以实现非接触测量，具有平均效应二.电容式传感器有如下一些缺点： 1.输出特性为非线性2.泄漏电容的影响3.高输出阻抗，带负载能力差 (一)、电容式传感器的优点 1.温度稳定性好2.需要的动作能量低3.动态响应快4.可获得较大的相对变化量5.结构简单，可在恶劣环境下工作6.可以实现非接触测量，具有平均效应 1.温度稳定性好 电容式传感器用真空、空气或其他气体作为绝缘介质时，介质发热是非常小的，因此本身发热问题可以忽略不计。 2.需要的动作能量低 由于带电极板间的静电吸引力很小，因此电容式传感器特别适宜用来解决输入能量低的测量问题。 3.动态响应快 电容式传感器除其固有频率很高，即动态响应时间很短外，又由于其介质损耗小可以用较高的频率作为供电电源，因此测量系统的工作频率较高，可用来测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 4.可获得较大的相对变化量 电容式传感器的相对变化量只受线性和其他实际工作条件的限制，如使用高性能电路时，电容变化量可达100%或更大，因此具有较高的信噪比。 5.结构简单，可在恶劣环境下工作 电容式传感器结构简单，易于制造；能在高温、低温及强辐射等各种环境下正常工作。其原因在于这种传感器通常不需要使用有机材料或磁性材料，而这些材料通常不能用于上述恶劣环境中。另外，传感器还可以做得体积很小，以便实现特殊要求的测量。 6.可以实现非接触测量，具有平均效应 电容式传感器可以实现对被测量的非接触测量，这个优点在保证测量精度上可以做得比接触式测量更好。 电容式传感器还具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 (二）、电容式传感器的缺点 1.输出特性为非线性2.泄漏电容的影响3.高输出阻抗，带负载能力差 1.输出特性为非线性 变间隙式电容传感器的电容量