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飞秒激光微加工技术的评述与展望 黄佑香，张庆茂，廖健宏，周永恒 (华南师范大学激光加工实验室，广东广州510006) 摘要：综述了飞秒激光微加工技术国内外的研究现状，介绍了飞秒激光微加工在光学、微电子及生物医学等领域 的应用，展望了飞秒激光微加工技术未来发展的趋势以及需要解决的关键技术。 关键词：飞秒激光；应用；微加工；进展 文献标识码：A 中图分类号：TN249；TG665 文章编号：0254—605l(2008)06m008m6 ReViewand offbmtosecondIaser prospects micro-processing technolo野 HUANG You-xiang，zHANGQing-mao，LIAOJian—hong，zHOuYong—heng