类金刚石碳基薄膜在1-乙基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐中的摩擦学性能.pdfVIP

2014年 11月 润滑与密封 NOV．2014 第39卷第 11期 LUBRICAT10N ENGINEERING Vo1．39No．11 DOI：10．3969／j．issn．0254—0150．2014．11．006 类金刚石碳基薄膜在 1一乙基．3．甲基咪唑四氟硼酸盐中的 摩擦学性能 杨保平 赵更锐 吴坤尧 龚珍彬l| 张俊彦 (1．兰州理工大学石油化工学院 甘肃兰州 730050； 2．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000) 摘要：利用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以甲烷为气源，在单晶硅 (P (001))衬底上制备类金刚石碳 基薄膜 (DLC)；利用高速往复摩擦磨损试验机分别测试DLC薄膜 ／A10，球摩擦副在大气环境下和 1-乙基_3-甲基眯唑 四氟硼酸盐离子液润滑下的摩擦磨损性能；利用光学显微镜，x射线光电子能谱和三维轮廓仪分别对磨痕、磨痕表面元 素和磨损率进行考察。实验结果表明：DLC薄膜在离子液润滑时，在低载荷下减摩作用明显，但在较高载荷下摩擦因数 较无离子液润滑时高，且不随载荷增加而变化，推测是离子液形成了边界润滑膜；XPS分析表明这层边界润滑膜可能是 由离子液物理吸附在摩擦接触面上形成的，并且对DLC薄膜有很强的抗磨作用。 关键词：DLC薄膜；离子液；摩擦磨损 ；边界润滑 中图分类号：TH117．1 文献标识码：A 文章编号：0254—0150 (2014)11—026—5 TribologicalPropertiesofDLC Filmswith 1一Ethyl·3- Methylimidazolium TetrafluoroborateasLubricant YangBaoping ZhaoGengrui， WuKunyao， GongZhenbin ZhangJunyan (1．SchoolofPetrochemicalEngineering，LanzhouUniversityofTechnology，LanzhouGansu730050，China； 2．StateKeyLaboratoryofSolidLubrication，LanzhouInstituteofChemicalPhysics，ChineseAcademyofSciences， LanzhouGansu730000，China) Abstract：Diamond-likeCarbon(DLC)filmsweredepositedonsiliconsubstratebyradiofrequencyplasmaenhanced chemicalvapordepositingtechnologywithmethaneassourcegas．ThetribologicalperformancesoftheDLC filmsagainst withA1203ballunderairand1-ethyl3·一methylimidazoliumtetrafluoroborate([emim]BF4)ionicliquidlubricationwere testedbyreciprocatingball-on—disctester．Thewera tracks，bondingstructureofweartracksandwera rateswereinvestiga- tedbymeasuringmicroscope，X-rayphotoelectronspectroscopy(xPs)and3Dsurfaceprofiler，respectively．Theresults show thattheDLCfilm hasalowerfrictioncoefficientwithionicliq