类金刚石薄膜对Low-E膜系的保护作用分析.pdfVIP

第42卷第6期 玻璃与搪 瓷 Vo1．42No．6 2014年 12月 GLASS ENAMEL Dec．2014 类金刚石薄膜对 Low-E膜系的保护作用分析 陈 玮 ，刘超英，徐志伟，付 静，穆元春，张 凡，张 洋 (中国建筑材料科学研究总院，北京 100024) 摘要：采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF—PECVD)，在Low-E玻璃表面沉积类金刚石 (DLC)薄膜作为保护层，通过耐洗刷试验和耐酸腐蚀试验研究了DLC薄膜对 LOW-E膜系的保 护作用；同时对镀DLC薄膜的Low—E玻璃进行热处理，研究热处理后 Low—E玻璃膜层结构、 低 辐射性能和光学性能的变化；然后通过摩擦磨损实验对镀 DLC膜提高Low-E玻璃耐洗刷 的原 因进行分析。结果表明：DLC膜能够有效提高Low—E玻璃耐洗刷性和耐酸腐蚀性；并且DLC膜 可以通过热处理去除，且热处理后的Low-E低辐射性能和光学性能未受到影响；一定厚度DLC 膜能够有效降低Low—E玻璃摩擦系数，是提高Low—E玻璃耐磨性的主要原因 关键词：类金刚石薄膜；Low-E玻璃；耐洗刷；耐腐蚀性；热稳定性 中图分类号：TB43 文献标识码 ：A 文章编号：1000—2871(2014)06—0014—05 DOI：10．13588／j．cnki．g．e．1000-2871．2014．06．004 EffectoftheDiamond-—-LikeCarbon Film on theProtection ofLow—E Film CHEN Wei，LIU Chao—ying XUZhi—wei，FUJing， ， MU Yuan—chun，ZHANGFan ZHANG Yang ， (ChinaBuildingMaterialsAcademy，Beijing100024，China) Abstract：Thediamond—likecarbon(DLC)wasdepositedontheLow—EgIasssurfaceasaprotective layerbyusingtheradiorfequencyplasmaenhancedchemicalvapordepositi0ntechnique ． Throughthe wash—oftresistanceandacidresistanceteststheeffectofDLC filmsonprotection ofLow—E film was investigated．Low—EglasswithDLCfilmwassubjectedtoheattreatmentandthenthe1averstructure． ， 1。w mlSSlOnpropertiesandopticalpropertieswereexamined．Thewash-offresistanceofLow—E g1ass wasanalyzedthroughabrasion test．Theresultsshow thattheDLC film can significantlvimpr0vethe wash—offresistanceandacid cor