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第19卷第5期 传感技术学报 v01．1,9No．5
AND
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS 0ct．2006
ontheStructureof ValveforGMRSensorwithLow
Study Spin Coercivity
Wei，LIUHua—rui，YE
LIUPeng+，LI Shuang-li，RENTian—ling，LjULi—tian
100084，China)
(InstituteofMicroelectronics，Tsingh眦University，Beijing
thestructureof were on
Abstract：IrMnvalves，with Ta／free
topspin layer／Cu／CoFe／IrMn／Tadeposited
substratevacuumDC ofthe valveswas
glass byhigh magnetronsputtering．Thecoercivityspin investiga—
tedwhen and wereselectedas free ordertoob—
NiFe／CoFeNiFeCr／CoFe syntheticlayers，respectively．In
tain valveswithlOW and wasused
spin highmagnetoresistance
coercivity
as free valvewith structurehadaMRof10．08％andtheCO-
synthetic1ayer．Thespin NiFeCr／NiFe／CoFe
was atransverse withaweak external
ercivity4．87×(103／4n)A／m．Byannealingprocedure applied mag—
netic couldbereducedto1essthan
field，the 0．01×(103／47r)A／m．Withthese
coercivity
GMRsensorswith MRandlow couldbeachieved．
high coercivity
free
Keywords：spinvalve；synthetic1ayer；transverseannealingprocedure
勘煅：3110M
低矫顽力GMR磁传感器的自旋阀结构研究
刘 鹏+，李 伟，刘华瑞，叶双莉，任天令，刘理天
(清华大学微电子学研究所，北京100084)
摘 要：采用高真空直流磁控溅射的方法，在玻璃衬底上制备了结构为Ta／free
化方案，可以研制出高磁电阻率和低矫顽力的GMR传感器．
关键词i自旋阀；复合自由层；横向退火工
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