激光自混频干涉法测量表面粗糙度研究.pdfVIP

第33卷增刊 光学技术 V01．33 Suppl． 2007年11月 OPTICAL Nov．2007 TECHNIQUE 文章编号：1002．1582(2007)S-0042．02 激光自混频干涉法测量表面粗糙度的研究’ 邵静波，洪光 (延边大学理工学院物理系，吉林延吉133002) 摘要：对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号与表面租糙 度的数学关系式，讨论了影响测量信号的因素及表征表面粗糙度的评定参数，即表面轮廓的方均根偏差。结果表明，随 着加工表面粗糙度的降低，反射光的强度逐渐增加，被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。 关键词：干涉效应；半导体激光；自