激光共聚焦技术.docVIP

在工业领域，金相显微镜也迈入到激光共聚焦时代，逐渐成为材料表面和微纳结构研究的一种重要手段，越来越多地被应用于科研和生产实践中，既可用来观察样品表面亚微米程度（X/Y轴0.12微米、Z轴1纳米）的三维形态和像貌，又可以精确测量多种微小的尺寸，诸如体积，面积，晶粒，膜厚，深度，长宽，线粗糙度，面粗糙度等等，同时和其他的附件配合使用，还可以实现红外、表面粗糙仪、原子力显微镜、电镜的部分功能。 1 激光扫描共聚焦显微镜（LSCM）的原理 从基本原理上讲,共聚焦显微镜是一种现代化的光学显微镜,它对普通光镜从技术上作了以下几点改进: 1．1用激光做光源因为激光的单色性非常好,光源波束的波长相同,从根本上消除了色差。 1． 2采用共聚焦技术在物镜的焦平面上放置了一个当中带有小孔的挡板,将焦平面以外的杂散光挡住,消除了球差;并进一步消除了色差 1． 3采用点扫描技术将样品分解成二维或三维空间上的无数点,用十分细小的激光束(点光源)逐点逐行扫描成像,再通过微机组合成一个整体平面的或立体的像。而传统的光镜是在场光源下一次成像的,标本上每一点的图像都会受到相邻点的衍射光和散射光的干扰。这两种图像的清晰度和精密度是无法相比的。 1．4用计算机采集和处理光信号,并利用光电倍增管放大信号图 在共聚焦显微镜中,计算机代替了人眼或照相机进行观察、摄像,得到的图像是数字化的,可以在电脑中进行处理,再一次提高图像的清晰度。而且利用了光电倍增管,可以将很微弱的信号放大,灵敏度大大提高。由于综合利用了以上技术。可以说ＬＳＣＭ是显微镜制作技术、光电技术、计算机技术的完美结合,是现代技术发展的必然产物。 激光共聚焦显微镜在材料领域应用初探 字体大小：大 - 中 - 小 recotech ? 发表于 10-12-24 14:54 ? ? 阅读(159) ? 评论(0) ? ? 分类： 编者：OLYMPUS工业显微镜 夏仲琦（xiazhongqi@）,周向群（zhouxiangqun@）等? 一、前言??????作为一种微观形态学工具，光学显微镜在工业测试方面的应用，目前主要大家比较熟悉的主要是以下方面：????? 首先，单独作为形态学工具，进行材料组织分析和外观缺陷检查，其典型的产品是金相显微镜和立体显微镜。第二、光栅量测结合，进行部件的精密尺寸测量，其典型的产品是工具显微镜，测量显微镜。????? 近年来，随着计算机软件技术的发展，显微镜与图象处理系统的结合，产生了定量金相软件、工显测量软件、一般几何测量软件等等，使其不仅可以定性分析，更能在定量化上发挥重大作用。但光学显微镜的局限在于，它是一种二维的形态学工具，其极限有效分辨率是 0.35 微米，该分辨率下的景深在 1 微米以下。因此如果要在高倍率下观察表面的三维形态，特别是纵向方向的形态，通常一定需要使用 SEM 而不是 OM。SEM 是这一方面非常成熟有效的标准工具，但有些样品使用 SEM 会碰到以下困难：????? 1、 样品本身比较大，且不能做分割的器件组，虽然被观察的部分是微小的局部，但整个样品难以放入 SEM 中。????? 2、 非金属样品，且不适合做导电性处理。特别是一些对微小处理很敏感的样品。????? 3、 无法测量多种尺寸数据，比如体积，面积，粗糙度等等。????? 针对这些问题，SEM 厂家在不断推出更新的技术。同时，光学显微镜开发者也在探索如何使光学显微镜成为一种三维的微观形态学工具。这方面目前比较有成效的技术，是激光扫描共焦显微镜（CF-LSM）。共聚焦激光扫描显微镜的发展在国外，主要为日本。是从 80 年代末期开始的，目前在日本，共聚焦激光扫描显微镜已经是一种被广泛采用的技术，既用来观察样品表面亚微米程度（0.12 微米）的三维形态和形貌，又可以测量多种微小的尺寸，诸如体积、面积、晶粒、膜厚、深度、长宽、线粗糙度、面粗糙度等等。另外，它还有以下特点：????? 1、 使用方便,与一般光学相似,且全部采用计算机直观控制。????? 2、 基本无须制样,不损伤样品。不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品。????? 3、 几十秒到一两分钟即完成全部的扫描，成像，测量采样工作。????? 该设备目前已经为吉林大学，哈尔滨工业大学用于材料和机械加工方面的研究。最近，我们和国内的一些大学，研究所进一步合作，对共聚焦激光扫描显微镜及在材料表面表征领域的应用做了初步的尝试，以下是简单的总结，希望得到行业内更多专家的指导。这些小结受拍照人影响较大，所以以下内容全部是个人观点。????????? 二、金属材料1、 金相组织篇????? 珠光体片层?马氏体?????????????????????????????