ISFET生化微传感器和读取电路的单芯片集成研究.pdfVIP

ISFET生化微传感器与读取电路的单芯片集成研究 蔺增金1·2夏善红1 魏金宝1,2杨海钢1孙红光1,2 1．中国科学院电子学研究所；2．中国科学院研究生院北京 100080 Effect SensitiveField 摘要：本文主要讨论pH．ISFET(Ion Tr觚sistor)和传感信号检测电路通过标准的 栅极上不同敏感薄膜材料与被测溶液中离子的化学反应来实现的。读取电路与ISFET微传感器的单芯片 集成既提高了检测灵敏度及抗干扰能力；同时还可方便地实现ISFET的多通道传感器(即多参数检测)， 并能进一步地与后续处理电路等进行更复杂的单芯片合成，从而仗基于ISFET的生化指标测试仪向着智 能化、微型化、低功耗、便携式发展． 关键词：ISFET生化微传感读取电路单芯片集成 1．引言 SensitiveFieldEffect 1970年，P．Bergv