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专业工程软件和技术开发服务供应商
PEGASUS
Software
PEGASUS
专业低温等离子体和稀薄气体模拟软件
上海锦科信息科技有限公司
Shanghai Bright-Tech Information Technology Co.,Ltd.
专业低低温等离子体和和稀薄气体模拟拟软件
PEGASSUS 公司司介绍
日本PPEGASUS 软软件公司总部部位于东京，是一家提供低温等离子体体、真空技术术和等离子体体工艺设计分分析
工具的专业业软件供应商，其主要软件件为PEGASSUS，已经在相相关领域的国国际知名公司司科研单位得得到广泛应用用。
上海锦科信信息科技有限公司为PEGGASUS 在中中国的独家经销商。
PEGASSUS 软件部部分用户如下：
ULVACC Tokyo electrron TTokki Nissin electric
EBARAA Hitachi TToshiba PANASOONIC
SANYOO CANON NNIKON Renesass electronicss
Fujifilmm Asahi Kasei NNippon Steeel Chemical JX Nippoon Mining Metals
KONICCA MINOLTAA IDEMITSU NITTO DDENKO
Mitsubbishi Heavy IIndustries SSumitomo EElectric Indusstries
Samsuung Mobile DDisplay(Koreea) TTokyo university Osaka uuniversity
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PEGASUS 软件特征
PEGASUS 专注于稀薄气体的直接蒙特卡洛模拟和低气压放电等离子体模拟，是真空技术、等离子体技
术、薄膜技术、微电子技术、微细加工技术的专业数值模拟软件，能广泛应用于微电子中刻蚀、沉积和溅射
设备，真空泵的优化设计，MEMS 的工艺过程设计，再入飞行器等领域的研究，应用行业涵盖电子/半导体、
新材料(纳米管、光纤)、新能源(燃料电池、太阳能光伏)、MEMS、光学、陶瓷、食品/饮料、汽车、航天、金
属加工等领域。
PEGASUS 是为真空技术领域的工程师设计的专业软件；
PEGASUS 可以模拟真空薄膜技术中多种基本物理和化学过程；
PEGASUS 能实现从大型设备气相过程模拟（米级）到微观区域的特征轮廓模拟（纳米级）；
PEGASUS 能实现基于PIC 和流体混合模式的放电模拟；
PEGASUS 由多个不同功能的模块构成，通过模块组合，能够实现对实际工艺过程的有效模拟。
PEGASUS 软件主要应用范围
1. 真空设备与稀薄气体模拟
多种真空设备中的稀薄气体动理学和粘性流模拟
真空蒸镀设备中的气体流动和薄膜厚度演化模拟
稀薄气体中的纳米粒子
微尺度下的原子与分子行为
2. 等离子体
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