MSA100微加速度计性能测试与分析.pdfVIP

STc99 MSAI 00微加速度计性能测试与分析 何晓千文量印 彭勃 (四川喾玮捆市919信葙512分箱，鄙辖621900) 【摘要】本文概述了MSAl00静电伺履徽加速度计的基本结构、工作原理和主要技术指标， 并对其在重力场和离心秩态的输出特性作了详细测试，络出了实验数据，囊后，运用线性回 归技术和静电学理论对实验数据进行了拟合、对实验中出现的特殊现象进行了讨论和分析． 毒【蔼：微加速度计静电力输出特性线性回归拟合 ● 一、引 言 它是为战术导弹的惯性测量单元、车辆惯性运动的测试、飞行测试等设计生产的。 MSAl00擞加速度计属静电伺服类型，其敏感元件采用体微加工工艺加工丽成。MSM00 传感器重约409，量程为±509。 圈1 N{SAl00中微型敏感元件的结构原理图 MSAl00的核心是一个三层的由微细加工成型的硅敏感元件，如图1所示。中间层硅带 有检测质量块，当其受到加速度作用时，将-gtt恕性元件固定端产生偏转。这种偏转由差分电 蠹 容检测器检出，并作为误差信号输给伺服系统。该信号再经伺服放大器放大、反向后分别施 加至上下玻璃板上的传感电极，由此在电容器极扳间产生静电力。静电力的力矩与加速度力 力矩大小相等，方向相反。因而在加速度力和静电力的共同作用下，检测质量始终保持在零 位(或非常靠近零位)。获得这种平衡的伺服电压与施加的加速度成正比。 ● 线性±0．1％。 为了考核这种徽加速度计的性能，本文进行了详细的重力场和离心测试。 二、重力场测试 本文在重力场下利用光学分度头测试了微加速度计的刻度因数。测试数据和求出的刻 79914m／s2．) 度因数如表一所示。(缔阳地区重力加速度值为垒791 表一、WSAl00徽加速度计重力场下的输出电压与刻度因数 加速度值(g) 输出电压(mV) 第一次 第二次 第三次 0 54．3 54．2 54．1 +l 313．1 312．9 312．9 O 54．3 54．0 54，O -1 -204．4 一204．7 —204．7 捌度因数 258．抽v／g 258．8mV／g 258．8mv／g zV／g。测试结果比厂家参数小。其主要原因在测试实验所在 或258．8mV／g，平均值为25B．6 她的重力加速度存在差异。 三、离心测试 若要将加速度计用于～定的量程下，必须进行离心实验，不能用电模拟或外推法得到的 结果代替实际的性能参数，而且，一般情况下，重力场的测试数据只能作为参考。因此，本 文接着作了详细的离心实验。 遁常。加速度计输入输出描述方程可以写成：K=毛+镪+埘+W+l_·，式中， 圪一加速度计输出电疆，单位V； a，一离心加速度，单位g ko一加这度计零位输出，单位V； k．一刻度嗣数，单位V／g；