介质阻挡放电化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的研究.pdfVIP

第六届全田表面工程学术套议 兰州 2006年8月 介质阻挡放电化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜研究 张溪文韩高荣 浙江大学硅材料国家重点实验室，材料与化工学院，杭州310027 摘要：本文首次采用介质阻挡放电化学气相沉积法常温快速制备了7n02薄膜．扫描电子显微镜，x 射线衍射仪，以及亲水性研究表明，得到的m02薄膜质量较好、膜基结合紧密，具有一定的亲水 性能．600oi2退火后出现锐铁矿相，亲水性能有较大增强． ’nO：在紫外光照射下具有的光催化…和超亲水性现象闭，使其具备了防污、杀菌、防雾和“自 清洁”等众多的潜在应用，因而倍受关注。其中，薄膜态的TiOz具有显著的应用价值。在啪2薄膜 制备方面，目前已经发展了离子溅射Ⅲ、氧化TIN…、金属有机物化学气相沉积(MOCVD)[51。、 水解法”】、氮化Ti02t7”、氮离子注射19]等多种方法。其中，溶胶凝胶、旋涂镀膜结合后续热处理是 实验室普遍采用的aa02薄膜制备技术，但其难以实现大规模应用。而c、，D法适用于大面积在线沉积 薄膜，有望实现工业化生产。最近，英国Pilldngton公司已经率先实现了