近场声成像——扫描电子声显微术和扫描探针声显微术.pdfVIP

第27卷第5期 声学技术 vo】27No5PL2 2008年10月 Tccllnm“Acoustlcs 0cl2008 近场声成像一扫描电子声显微术和扫描探针声显微术 钱梦啄 (Jq*^}自}WRmLm2叫N21 Acoustic innear imaging6eld—SEAMandSPAM OIAN MeⅡgI“ 20。。9tshtMi I№汕i”西^co心。嗵脚鲋UⅢ州‘msh口Hghaz 后电了柬强度可周期调制的扫描电子显微镜