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第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS 0ct．2006
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ZHANGRuo-xin，SUI Wei—hua，CHEN
Xiao—hong，PEJ Hong—da
on 100083，China)
(StateKeyLaboratory ofSciences，Beijing
Abstract：Semiconductor are utilizedtofabricate
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