微机械非制冷红外热电堆探测器的研制.pdfVIP

2005年11月 第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 珠海 微机械非制冷红外热电堆探测器的研制 蔡小五1韩郑生1马斌2梁平治2 (1中国科学院微电子研究所 北京100029) (2中国科学院上海技术物理研究所 上海 200083) 摘要：论述了热电堆探测器的原理，利用ANSYS软件模拟了热电堆探测器的性能，阐述 了采用微机械微机电方法制造热电堆探测的工艺过程，采用背面各向异性腐蚀方法架空封 化硅(3000埃)的复合薄膜结构，所用热偶材料为N型多晶硅和P型多晶硅材料，成功研 制出包含18对热偶的热电堆探测器，并对器件性能进行了测量，测得器件的响应率为40V／W， 响应时间为91ms，归一化探测率为1．04x108cm．Hzl陀．W～。 关键字：MEMS；红外热电堆；各向异性腐蚀；热电材料 文献标识码：A Mi UncooledInfrared cromachined i c