AZO靶材热压致密化及Al元素扩散研究.pdfVIP

第 30卷第 6期 粉末冶金技术 Vo1．30，No．6 2012年 12月 PowderM etallurgyTechnology Dee．2O12 AZO靶材热压致密化及 Al元素扩散研究 白 雪一 王星明一 储茂友 张碧 田 段华英 石志霞 孙 静 韩 沧 (北京有色金属研究总院稀有金属与冶金材料研究所 ，北京 100088) 摘 要： 以98：2(质量比)的ZnO．A10，混合粉体为原料热压制备AZO靶材。通过阿基米德排水法测定试样 密度，XRD分析物相组成，TEM观察靶材的微观结构，研究靶材热压致密化和Al元素扩散的规律。结果表明： Al元素在未经煅烧的原料粉中以A1，O，的形式存在 ；而在煅烧处理后的粉末中，Al元素部分扩散进入了ZnO的 晶格中，导致其层状属性 c／a值的减小，另一部分A1元素由于固溶度的限制形成 ZnA1O 尖晶石。在热压温度 为 1O00~C时，未经煅烧的原料粉中A10 与ZnO发生反应生成 ZnA1O；而煅烧处理后的粉末在 1000％热压 时，尖晶石含量最高为3．41％(质量分数，下同)，温度升至 1150~C，ZnA1O 的含量下降至2．64％，延长保温时 间，ZnA1O 含量逐渐减少。由此说明，热压温度为 1000％时，易于形成 ZnA1O 相，在升温过程中，ZnA1O 与 ZnO中的Al元素存在互扩散。通过靶材的微观结构分析发现，ZnO晶粒中夹杂着 ZnA1O ，A1元素含量在 ZnO 晶粒 中呈梯度分布 。在热压过程中插入合适的保温保压点能改进热压工艺，有效提高靶材 的致密度 。 关键词 ：AZO靶材 ；热压 ；密度 ；ZnA1，O Studyofthehot-pressingdensification processofAZO targetandthe diffusionbehaviorof．Alelement BaiXue，W angXingming，ChuMaoyou，ZhangBitian，Duan Huaying，ShiZhixia，SunJing，Han Cang (RareMetalandMetallurgicalMaterialsResearch[nstitute，GeneralResearchInstitutefor Non—FerrousMetals，Beijing100088，China) Abstract：AZO targetswereprepared byhot—pressingusing98wt％ ZnO and2wt％ A12O3mixturepowderasraw materials．Studyoftheinfluenceofhot—pressingparameteronthedensificationprocessofAZO targetandthediffusion behaviorofA1elementwascarriedoutbythemethodslistedbelow：ThedensityoftargetwasmeasuredbyArchimedes method，ThephasestructurewasmeasuredbyX—raydiffraction．ThemierostruetureoftargetwasobservedbyTEM． Theresultsareasfollows：Intherawmaterialpowderwithoutcalcination，A1elementexistsintheform ofA1，O ．In therawmaterialpowderwithcalcination，partofA1elementdiffusesintotheZnO lattice，leadingthereduceofc／a layeredattributevalu