内置式微型电液动力泵地研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：073412 内置式微型电液动力泵的研究 于翮孙翠霞俞坚 北京T业火学环境与能源学院强化传热与过程节能教育部重点试验室， 北京， 100023 (Tel：0lO8210， 摘要：本文介绍了一种新型电子冷却技术一微型电液动力泵的丁作原理，并且运用了ME^{S技术， 在硅片L加工了梳状电极形式的微型电液动力泵。采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研 究，取得良好效果。 关键词：电予冷却；微型电液动力泵；传热； 1前言 随着微电子处理器上的电子元件的密度和运算速度的进一步增加，矗接导致微处 理器的散热量持续增加，下一代电子元器件的散热将超过1000w／cm2。这些热量需要 及时排出已保证芯片的温度处于所允许的范围内，现有的风冷技术是不可能满足如此 高的热流密度的散热需求。通过对芯片散热的研究，研究人员发现芯片上部散热量约 占总散热量的20％