原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
法制备薄膜工艺条件的研究.pdf
第 卷 第 期 西 南 师 范 大 学 学报 （自然科学版） 年 月
! ! !##$ $
（ ）
%’ ( ! ) ( ! *+,-.’ / 0+123451 627-. ),8.’ 9-7:4,571; ).1+,.’ 074-4 =717- ?@, ( !##$
!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
文章编号： （ ）
A### B$CA !##$ #! #!BA #$
!# 法制备$%’ 薄膜工艺条件的研究!
A A !
郑慧雯 ， 章娴君 ， 王显祥
西南师范大学 化学化工学院，重庆 ； 四川农业大学 生命科学与理学院，四川雅安
AD $##CAB ! D E!B#A$
摘要：在 陶瓷基片上以正硅酸乙酯（ ）为原料，高纯氮气作载气，采用低压冷壁式设备和化学气相沉积
?’ F H=F0
! G
（ ）方法制备 薄膜，研究了基片温度、 温度和沉积时间对 薄膜沉积速率的影响 采用 ， 和
6%I 07F H=F0 07F ( JKI JL0
! !
0=M 技术对07F 薄膜的组成和结构进行了分析(
!
关 键 词：化学气相沉积；沉积速率；薄膜
中图分类号：()*+, -+. / 0 - * 文献标识码：1
07F! 陶瓷材料具有稳定的高温介电性能和良好的耐烧蚀性能，是导弹弹头和天线窗理想的介电 防热
［］
材料 A 目前用于制备 材料的方法主要有硅烷氧化法、溶胶 凝胶法（ ）和化学气相沉积法（ ）
( 07F! 5’NO4’ 6%I (
其中硅烷氧化法的原料，如 ， 等大部分价格昂贵；溶胶 凝胶法（ ）工艺过程复杂，不易控
07P 076’ P 5’NO4’
$ ! !
制；而采用化学气相沉积法制备无机薄膜材料能在相对低的温度下制备熔点高达G ### Q 的陶瓷，同
文档评论（0）