多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化.pdfVIP

43 5 人 工 晶 体 学 报 第 卷 第 期 Vol． 43 No． 5 2014 2014 5 JOUＲNAL OF SYNTHETIC CＲYSTALS May ， 年 月 多晶硅炉氩气导流系统设计与数值模拟优化 1 ，2 1 2 1 ， ， ， 苏文佳 左 然 程晓农 狄晨莹 (1． ， 212013 ;2． ， 212013) 江苏大学能源与动力工程学院 镇江 江苏大学材料科学与工程学院 镇江 : DSS ， ， CGSim ， ， 摘要 在 法多晶硅生长中 为了降低氧碳含量 作者利用 软件 分析了三种传统氩气导流系统的优缺点 ， 。 以此为基础设计了一种中心和侧面双排气的新型导流系统 并对其进行了设计和数值模拟优化 模拟得出以下结 : ， ， / ; 论 多晶铸锭炉三种传统氩气导流系统中 石墨坩埚上部开大孔且有盖板时 有利于控制氧碳含量和固 液界面 新 ， ， ; 型多晶铸锭炉氩气导流系统中 中心氩气进口管伸入上盖板时 有利于降低多晶硅的氧碳含量 随着石墨坩埚上部 ＇ ＇ 开口高度h 逐 ， ， ， h = 20 mm ， 渐增大 中心出口氩气流速逐渐减小 侧面出口氩气流速增大 当 时 有利于降低多晶硅的 氧 。 。 碳含量 研究结果为生长高质量的多晶硅提供了理论依据 : ; ; ; / 关键词 多晶硅 数值模拟 氩气导流 固 液界面